Файл: Микроструктурный и фазовый анализ с помощью электронного микроскопа.docx
ВУЗ: Не указан
Категория: Не указан
Дисциплина: Не указана
Добавлен: 26.10.2023
Просмотров: 76
Скачиваний: 1
ВНИМАНИЕ! Если данный файл нарушает Ваши авторские права, то обязательно сообщите нам.
Лабораторная работа № 1Тема: Микроструктурный и фазовый анализ с помощью электронного микроскопа.Цель работы : ознакомиться с устройством и принципом действия просвечивающего электронного микроскопа; изучить методику приготовления образцов для электронно-микроскопического анализа; освоить методику электроннооптического фазового анализа веществ.
Пучок от пушки фокусируется конденсорными линзами, дающими необходимую освещённость образца - от минимально возможной (до 0,1 мкм) до значительной области, освещённой почти параллельными лучами. Пройдя через образец, электроны попадают в объективную линзу. Эта линза создаёт изображение образца, увеличенное примерно в 100 раз. Затем электроны попадают в промежуточную линзу, которая предназначена для плавного изменения увеличения и получения дифракции с локальных участков исследуемого образца.Рис. 1. Оптическая схема электронного микроскопа ЭМ-200.Фотография электронного микроскопа ЭМ-200.2. Просвечивающая (трансмиссионная) электронная микроскопия. (ПЭМ)ПЭМ- это метод анализа внутренней структуры и фазового состояния веществ. По своей сути он аналогичен обычному микроанализу, но вместо световых волн здесь используются более коротковолновые-электромагнитные. Принципиальная схема микроскопа изображена на рис.2.Электронный микроскоп состоит из:Электронной пушки (1), служащей источником быстрых электронов, фокусирующего электрода (2), анода (3), системы электромагнитных линз (4-7), образца (8) и флюоресцирующего экрана или фотопленки (9).Все элементы помещены в стальную колонну, в которой поддерживается вакуум Па. Изображение ПЭМ - это увеличенная картина распределения интенсивности выхода электронов из нижней поверхности образца.В зависимости от анализируемого образца, различают: прямой, косвенный и полупрямой методы электронной микроскопии.1) прямой метод заключается в непосредственном наблюдении внутренней структуры тонкого образца исследуемого материала ( мкм). 2) косвенный метод заключается в исследовании тонких слепков (реплик), снятых с протравленной поверхности образца и отображающих её рельеф. Реплики бывают лаковые, оксидные и углеродные, прозрачные для электронов.3) полупрямой метод используются для изучения гетерогенных фаз. При этом основная фаза исследуется прямым методом, а частички вторичных фаз извлекаются в реплику и исследуются косвенным методом.
Рис. 2. Принципиальная схема микроскопа.1 2 3 4Рис.3. Схема фиксирования частиц репликой: 1 - образец до травления; 2 - образец после травления; 3 - образец после нанесения реплики; 4 - реплика с фиксированными частицами после отделения.В настоящее время для изучения гетерогенных структур сложных веществ (особенно металлических сплавов) применяется метод реплик, фиксирующих дисперсные частицы одной из фаз (рис. 3). Такие реплики обеспечивают наиболее полное исследование гетерогенных сплавов, полное использование разрешающей способности электронного микроскопа и использование электронной микродифракции для идентификации фаз.
= 2,338*16 = 37,4 = 2,025*19 = 38,5 = 1,430*27 = 38,6 = 1,219*29 = 35,3 = 1,168*42 = 49
-
Устройство и принцип работы просвечивающего электронного микроскопа.
Пучок от пушки фокусируется конденсорными линзами, дающими необходимую освещённость образца - от минимально возможной (до 0,1 мкм) до значительной области, освещённой почти параллельными лучами. Пройдя через образец, электроны попадают в объективную линзу. Эта линза создаёт изображение образца, увеличенное примерно в 100 раз. Затем электроны попадают в промежуточную линзу, которая предназначена для плавного изменения увеличения и получения дифракции с локальных участков исследуемого образца.Рис. 1. Оптическая схема электронного микроскопа ЭМ-200.Фотография электронного микроскопа ЭМ-200.2. Просвечивающая (трансмиссионная) электронная микроскопия. (ПЭМ)ПЭМ- это метод анализа внутренней структуры и фазового состояния веществ. По своей сути он аналогичен обычному микроанализу, но вместо световых волн здесь используются более коротковолновые-электромагнитные. Принципиальная схема микроскопа изображена на рис.2.Электронный микроскоп состоит из:Электронной пушки (1), служащей источником быстрых электронов, фокусирующего электрода (2), анода (3), системы электромагнитных линз (4-7), образца (8) и флюоресцирующего экрана или фотопленки (9).Все элементы помещены в стальную колонну, в которой поддерживается вакуум Па. Изображение ПЭМ - это увеличенная картина распределения интенсивности выхода электронов из нижней поверхности образца.В зависимости от анализируемого образца, различают: прямой, косвенный и полупрямой методы электронной микроскопии.1) прямой метод заключается в непосредственном наблюдении внутренней структуры тонкого образца исследуемого материала ( мкм). 2) косвенный метод заключается в исследовании тонких слепков (реплик), снятых с протравленной поверхности образца и отображающих её рельеф. Реплики бывают лаковые, оксидные и углеродные, прозрачные для электронов.3) полупрямой метод используются для изучения гетерогенных фаз. При этом основная фаза исследуется прямым методом, а частички вторичных фаз извлекаются в реплику и исследуются косвенным методом.
Рис. 2. Принципиальная схема микроскопа.1 2 3 4Рис.3. Схема фиксирования частиц репликой: 1 - образец до травления; 2 - образец после травления; 3 - образец после нанесения реплики; 4 - реплика с фиксированными частицами после отделения.В настоящее время для изучения гетерогенных структур сложных веществ (особенно металлических сплавов) применяется метод реплик, фиксирующих дисперсные частицы одной из фаз (рис. 3). Такие реплики обеспечивают наиболее полное исследование гетерогенных сплавов, полное использование разрешающей способности электронного микроскопа и использование электронной микродифракции для идентификации фаз.
-
Методика расшифровки электрограмм.
-
Расчет постоянной прибора.
= 2,338*16 = 37,4 = 2,025*19 = 38,5 = 1,430*27 = 38,6 = 1,219*29 = 35,3 = 1,168*42 = 49
| № п/п | (HKL) | dHKL, Å эталона | Интенсивность | 2RИЗМ, мм | 2Li |
| 1 | (111) | 2,338 | 1,00 | 16 | 37,4 |
| 2 | (200) | 2,025 | 0,40 | 19 | 38,5 |
| 3 | (220) | 1,430 | 0,30 | 27 | 38,6 |
| 4 | (311) | 1,219 | 0,30 | 29 | 35,3 |
| 5 | (222) | 1,168 | 0,07 | 42 | 49 |
| 2LСР = 39,8 | |||||
-
Расчет электронограммы.
= 0,61 АlN(гекс) – Нитрид Алюминия.
| №п/п | Вещество | (HKL) | d, Å | (HKL) | d, Å |
| 1 | AlN (гекс.) а=3,114 Ǻ с=4,986 Ǻ | (100)* (010)* (002) | 2,694 2,694 2,492 | (111)* (110) (103)* | 2,74 2,74 0,61 |