Файл: Сканирующая зондовая микроскопия диссертация.pdf

Добавлен: 06.02.2019

Просмотров: 15926

Скачиваний: 9

ВНИМАНИЕ! Если данный файл нарушает Ваши авторские права, то обязательно сообщите нам.
background image

91 

1.4.2.3. Свойства межзеренных границ 

Подход, аналогичный методу сканирующей туннельной потенциометрии (см. раз-

дел 1.1.3.2), был  предложен  в 2001 г.  для  исследования  свойств  межзеренных  границ 

керамических материалов [438, 575–577]. Он получил название scanning impedance mi-

croscopy (SIM). При наложении синусоидальной модуляции вдоль поверхности образца 

(рис. 60) на поперечной межзеренной границе происходит сдвиг фаз 

d

ϕ :  

2

2

2

2

tg

(

)

d

d

d

d

d

d

C R

R R

R C R

ω

ϕ =

+

+ ω

. (53) 

Для высоких частот  (

1/

d

d

C R

ω

) выражение значительно упрощается: 

1

tg

d

d

RC

ϕ =

ω

, (54) 

позволяя  оценивать  емкость  межзеренной  границы.  Величина  сдвига  фаз  может  быть 

измерена  по  изменению  фазы  колебаний  кантеливера,  индуцированных  электростати-

ческими силами в зазоре. При низких частотах возбуждения изменение амплитуды ко-

лебаний  кантеливера  определяется  типовым  соотношением  для  делителя  напряжения 

1

2

/

(

) /

d

A A

R R

R

=

+

  (рис. 61). При  наложении  постояннотоковой  поляризации  вдоль 

поверхности образца и использовании метода SSPM для измерения скачка поверхност-

ного  потенциала  на  межзеренной  границе  и  его  зависимости  от  напряжения  можно 

также оценить величину сопротивления межзеренных границ (рис. 62). Информация о 

нелинейных свойствах границ может быть получена как из вольтамперной зависимости 

скачка потенциала на границе, так и путем анализа высших гармоник колебаний в SIM-

конфигурации [578].  

 

Рис. 60. Схематическое изображение измерения в конфигурации SSPM (а) и SIM(б) и 

соответствующие эквивалентные схемы [577].  

а 

б 


background image

92 

 

 

Рис. 61. Топографическое изображение (а) и фазовое SIM-изображение (б) поверхности 
допированного ниобием SrTiO

3

. Частотная зависимость фазового скачка (в) и отноше-

ния амплитуд (г) для различных величин терминальных резисторов R: 148, 520, 1480, 

4800 Ом. Сплошные линии — аппроксимация для емкости и сопротивления межзе-

ренной границы независящих от частоты [438].  

 

Рис. 62. Топографическое изображение образца поликристаллического ZnO (а) и SSPM 

изображения, полученные в «классической» конфигурации (б) и при наложении раз-

ности потенциалов различной полярности вдоль поверхности(в, г) [438]. 

а 

б 

в 

г 

а 

б 

в 

г 


background image

93 

1.5. Сканирующая электрохимическая микроскопия 

Появление метода сканирующей электрохимической микроскопии (scanning elec-

trochemical microscopy, SECM) в 1989 г. [408], было инициировано  работами по элек-

трохимическому  наноструктурированию  поверхности  в  конфигурации  in situ  СТМ 

[579–591]. Во многом эти методы близки, однако в SECM, в отличие от in situ СТМ, в 

качестве  опорного  сигнала  для  работы  петли  обратной  связи  используется  величина 

тока электрохимической реакции, протекающей на поверхности ультрамикроэлектрода. 

В  простейшем  случае  при  наличии  в  растворе  электроактивных  частиц,  претерпеваю-

щих  редокс-превращения  на  микроэлектроде,  ток  определяется  законами  диффузион-

ной кинетики (для дискового микроэлектрода радиуса r, 4

i

nFDcr

=

). При приближе-

нии зонда к поверхности инертного непроводящего образца или электрода, находяще-

гося при потенциале, при котором на нем не происходят разряд или генерация электро-

активных частиц, диффузия к микроэлектроду подавляется (экранируется), и ток сни-

жается (рис. 63).  

 

Рис. 63. Зависимости проводимость/расстояние для платинового ультрамикроэлек-

трода над поверхностью образца из тефлона (а) (диаметр микроэлектрода 25 мкм) и 

стеклоуглерода (б) (диаметр микроэлектрода 10 мкм) в 1 мМ KCl [583].  

В  случае,  если  на  поверхности  образца  происходит  генерация  электроактивных 

частиц  (либо  за  счет  редокс-превращения  медиатора,  либо  за  счет  независимой  элек-

трохимической  реакции,  продукт  которой  детектируется  на  микроэлектроде (genera-

tion/collection mode)), то  ток  при  приближении  зонда  к  поверхности  увеличивается.  В 

обоих случаях изменение тока может служить опорным сигналом для измерения топо-

графии  или  локальной  электрохимической  активности  поверхности.  Рабочие  расстоя-

ния между зондом и образцом в этой конфигурации существенно больше, чем в СТМ 

а 

б 


background image

94 

(от ~1 нм  до  нескольких  десятков  микрон),  диаметр  ультрамикроэлектрода  также  со-

ставляет несколько микрон, поэтому латеральное разрешение «классической» реализа-

ции этого метода существенно меньше, чем у СТМ и АСМ. Однако благодаря высокой 

гибкости и универсальности метод SECM находит широкое применение для исследова-

ния  закономерностей  протекания  различных  электрохимических  процессов [410, 582–

587], вплоть до электрохимических превращений индивидуальных молекул [588, 589]. 

В  последние  годы  наблюдается  активное  взаимопроникновение  методов SECM и 

СТМ/АСМ,  появление  комбинированных  методик [460, 461, 499, 504, 506, 590, 591], 

позволяющих повысить разрешение и информативность исследований. 

 

* * * 

Суммируя все вышесказанное, можно однозначно заключить, что для всех разно-

видностей сканирующей зондовой микроскопии (хотя SECM не всегда рассматривается 

как  ее  разновидность)  наблюдается  много  точек  соприкосновения  и  взаимопроникно-

вения. В том числе и в области спектроскопической характеристики свойств материала 

«за пределами топографии». Измерения в ex situ СТМ конфигурации на воздухе с точки 

зрения,  как  методических  особенностей  топографических  измерений,  так  и  интерпре-

тации спектроскопических данных, представляют собой наиболее сложный случай, из 

за неконтролируемого строения «туннельного» зазора и существенного вклада фараде-

евских  токов  в  тонкой  пленке  воды  на  поверхности  образца.  Наиболее  существенных 

осложнений можно ожидать при исследовании электрохимически синтезированных ма-

териалов (попадание воды и солей на поверхности неизбежно происходит во время по-

лучения). 

 


background image

95 

Глава 2. Разработка методических подходов 

Научные  и  методические  результаты,  представленные  в  настоящей  диссертации, 

получены в последние 15 лет. Этот период отвечает многоплановому развитию метода 

сканирующей туннельной микроскопии, как в части программного и технического усо-

вершенствования  стандартных  методик,  так  и  в  плане  создания  новых  методических 

подходов с более глубокой внетопографической идеологией.  

Наши работы были начаты на базе оригинальных микроскопов с аналоговой пет-

лей  обратной  связи  «Литскан-1», «Литскан-2»,  изготовленных  А.В.Денисовым.  В  по-

следующем методики были адаптированы и расширены для серийно выпускаемой ус-

тановки  «Умка» (концерн  «Наноиндустрия»,  Москва)  с  микропроцессорным  управле-

нием.  Все  эти  приборы  имеют  одинаковые  принципы  построения  основного  измери-

тельного узла микроскопа (головки): трубчатый сканер, вертикальное крепление образ-

ца, сканирование осуществляется зондом, подвод — образцом в режиме проскальзыва-

ния  держателя  образца  при  подаче  пилообразных  импульсов  на  пьезосканер.  Краткие 

технические  характеристики  серийно  выпускаемого  прибора  «Умка»  представлены  в 

табл. 1. Они  по  многим  параметрам  не  уступают  или  даже  превосходят  возможности 

большинства  представленных  на  рынке  отечественных  и  даже  импортных  СТМ-

устройств, предназначенных для работы в ex situ конфигурации. В ходе работ на ори-

гинальных  моделях  «Литскан-1»  и  «Литскан-2»,  они  претерпевали  многократную  мо-

дификацию, приводящую и к изменению технических характеристик, однако их основ-

ные  параметры  лишь  незначительно  уступают  представленным  в  табл.1  значениям. 

Благодаря гибкой архитектуре и наличию быстродействующего цифрового процессора 

ADSP-21065  на  платформе  «Умка»  удалось  реализовать  методы  дифференциального 

картирования  свойств  поверхности,  не  прибегая  к  существенной  модификации  аппа-

ратной  части.  Для  обеспечения  высококачественного  и  воспроизводимого  сканирова-

ния, а также контролируемого измерения туннельных спектров для всех микроскопов 

было  разработано  оригинальное  программное  обеспечение  (в  том  числе  микропро-

грамма нижнего уровня для ADSP-контроллера), гарантирующее четкий контроль всех 

временных  интервалов  на  любых  этапах  измерений.  В  дальнейшем  особенности  про-

граммной  реализации  основных  алгоритмов  работы  микроскопа  рассматриваться  не 

будут, так как этот вопрос находится за пределами тематики данной работы.  

Помимо алгоритмов туннельно-спектроскопических измерений, необходимых для 

получения  информации  о  локальной  неоднородности  гетерогенных  материалов,  ниже 

будут  рассмотрены  вопросы  искажений,  связанных  с  конечным  радиусом  кривизны