Для плазменного формования микроотверстий обычные плазменные установки, используемые для очистки от замазывания или для обратного травления стенок отверстий, применить невозможно. Требуются специально разработанные для этих целей установки.
Применяют несколько типов лазеров для формирования микроотверстий, такие как эксимерный УФ лазер, Nd-YaG лазер и СО2 лазер. Энергия лазерного луча оптически концентрируется в очень узкий луч для формирования малых отверстий. Эксимерный лазер с короткой волной может производить чистые отверстия с вертикальной стенкой во многих подложках – керамике, стекле и в полимерах. Nd-YaG лазер используется для сверления металла, в том числе меди, стали и полимеров. СО2 лазер хорошо сверлит полимеры, работает с длиной волны 10,591 мкм.
Диэлектрический материал должен поглощать достаточное количество световой энергии, чтобы разогреться для испарения. Вместе с этим диэлектрик должен быть достаточно прозрачным, чтобы луч мог проникать сквозь него и формировать отверстие без загрязнений. Практически требуется не менее двух импульсов для сверления отверстия диаметром 50 мкм в слое смолы толщиной 50 мкм.
Преимущества лазерного сверления отверстий:
∙можно делать отверстия в любом месте в соответствии с программой;
∙можно делать отверстия различной требуемой глубины;
∙не образуется большого побочного загрязнения.
Недостаток лазерного сверления отверстий – более высокая стоимость процесса по сравнению с фотоформованием отверстий для плат с очень большим числом отверстий.
Выбор материала. В технологии сверления микроотверстий используют материалы:
∙FR-4 ламинат или препрег с фольгой;
∙фольга, покрытая смолой (RCC);
∙арамидный ламинат или препрег с фольгой;
∙полиамидный пленочный ламинат;
∙препрег на основе фторопласта.
Выбор материала зависит от способа формирования микроотверстий. Например, неорганические армированные материалы плаз-