ФОТОПРОВОДИМОСТЬ ПОЛУПРОВОДНИКОВ

Оптический диапазон спектра электромагнитных волн занимает интервал длин волн 1 мм - 1 нм, находясь между электромагнитными волнами СВЧ диапазона и мягкого рентгеновского излучения (Рис.1).

О

Рис. 1

н включает в себя три поддиапазона, а именно:

ультрафиолетовый УФ (УФ-А, УФ-В, УФ-С), соответствующий длинам волн 1 нм - 0,38 мкм;

видимый, соответствующий длинам волн 0,38 - 0,78 мкм;

инфракрасный ИК (ИК-А, ИК-В, ИК-С), соответствующий длинам волн 0,78 - 1 мм.

Широкое освоение оптического диапазона определяется рядом принципиальных преимуществ, световых волн по сравнению с радиоволнами.

Рабочим диапазоном полупроводниковых приборов является область длин волн 0,2 - 20 мкм.

Оптическое излучение при взаимодействии с кристаллом полупроводника частично поглощается, частично отражается от его поверхности или проходит через кристалл без поглощения. Доли проходящей, отраженной и поглощенной энергии излучения оценивают для полупроводниковых материалов соответствующими коэффициентами. Различают:

- Коэффициент пропускания Т_ф - отношение мощности Рпр, прошедшей через кристалл полупроводника, к мощности падающего излучения на его поверхность Рпд;

- Коэффициент отражения R_ф - отношение отраженной мощности Ротр от поверхности кристалла к мощности падающего излучения Рпд;

- Коэффициент поглощения _ф (см^-1), численно равный значению обратного расстояния от поверхности полупроводника, на котором первоначальная мощность падающего излучения уменьшается в е раз, где е - основание натурального логарифма. Коэффициент поглощения _ф является постоянной уменьшения мощности излучения по координате х, направленной в глубь полупроводника, нормально к его поверхности, т.е. dP/dx = ^- _ф. Тогда

P(х) = Рпд(0) exp(-_фx) (1)

где Pпд(0) - мощность излучения, падающего на поверхность полупроводника.

В фотометрии мощность излучения определяется через световой поток или поток излучения Ф (лм). Обе величины Р и Ф связаны между собой через характеристику, учитывающую особенности восприятия излучения человеческим глазом на каждой длине излучения  и называемую спектральной видностью, т.е. S_^* = Ф/Р. Тогда из (1) после умножения на S_^* получим:

Ф(х) = Фпд(0) exp(-_фx) (2)

Число фотонов, падающих на единицу поверхности полупроводника в 1с при монохроматическом световом потоке называется плотностью фотонов N_o. С учетом плотности световой поток записывается в виде Ф=hN_o, где h – постоянная Планка (Джс);  - частота (Гц). Световой поток, взаимодействующий с кристаллом, учитывая коэффициент отражения R_ф, определим как Ф(х) = (1-R_ф)N_ohexp(-_фx). Изменение плотности фотонов с глубиной х находим из выражения:

_{dN/dx =} -(1-R_ф)N_o exp(-_фx), (3)

где знак « - » указывает, что плотность фотонов убывает с глубиной х из-за поглощения.

---

Зависимость коэффициента поглощения от длины волны излучения (частоты, энергии кванта) называют спектром поглощения. Типовой спектр поглощения полупроводника _ф =  () показан на Рис.2 (Указан только инфракрасный участок диапазона. При дальнейшем уменьшении длины волны, _ф остается неизменной - сплошная линия). Отдельные области спектра с локальными максимумами коэффициента поглощения соответствуют различным механизмам поглощения энергии излучения в полупроводниках. Механизмы поглощения энергии будут рассмотрены ниже.

Отраженное от поверхности кристалла излучение исключается из процесса взаимодействия с полупроводником. В фотоэлектрических приборах стремятся снизить долю отраженной энергии, уменьшая коэффициент отраже­ния, и повысить долю поглощенной, увеличивая коэффициент поглощения, так как только поглощенная энергия вызывает генерацию свободных носителей в полупроводниках. Один из способов уменьшения коэффициента отражения за­ключается в изменении условий отражения электромагнитной волны от поверх­ности кристалла. Для этого на поверхность кристалла наносят один или соответственно несколько слоев просветляющего покрытия.

Рис. 2

В полупроводниках различают несколько механизмов поглощения энергии излучения - собственное (основное, межзонное, фундаментальное), примесное, экситонное, решеточное, поглощение свободными носителями.

При собственном поглощении энергия затрачивается на разрыв валентной связи в атоме и перевод электрона из валентной зоны полупроводника в зону проводимости. Этот процесс генерации свободных носителей обратен межзонной рекомбинации. Для перевода электрона в зону проводимости необходимо, чтобы энергия фотона превышала ширину запрещенной зоны, т.е. Eф=h=Eз. На частотах излучения <_гр, где _гр=Eз/h, коэффициент поглощения резко уменьшается. Поэтому спектр собственного поглощения имеет четко выраженную границу, называемую красной границей фотоэффекта и определяемую соотношением _гр=ch/Eз (Рис.2). Красная граница соответствует минимальной энергии фотона, необходимой для перевода электрона из валентной зоны в зону проводимости (энергии ионизации собственного атома полупроводника). Различают прямые и непрямые переходы электронов из валентной зоны в зону проводимости. С уменьшением длины волны излучения в области _гр вначале могут наблюдаться непрямые переходы, при которых требуется меньшая энергия фотона для ионизации атома (участок 2 на Рис. 2), а затем с ростом энергии фотона будут только прямые переходы (участок 1), так как вероятность непрямых переходов уже мала. На участке 1 спектра поглоще­ния значения _ф~10⁵-10⁸см^-1. Граница собственного поглощения _гр=с/_гр большинства полупроводников приходится на видимую или инфракрасную часть оптического диапазона. На величину _гр кроме типа полупроводника влияют температура, внешние поля, степень легирования и др. С увели­чением температуры ширина запрещенной зоны большинства полупровод­ников уменьшается и _гр сдвигается в сто­рону больших длин волн. С повы­шением концентрации примесей в полупро­водниках энергетические уровни вблизи потолка валентной зоны или дна зоны проводимости заполняются. По­этому при собственном поглощении, когда энергия фотона должна превышать ширину запрещенной зоны, _гр соответственно сдвигается в область меньших длин волн. В электрическом поле красная граница _гр смещается в длинновол­новую область (эффект Келдыша-Франца), в магнитном поле - в коротковол­новую (расщепление Ландау).

---

При примесном поглощении энергия фотона затрачивается на ионизацию атомов примеси. В полупроводниках донорные примеси расположены вблизи дна зоны проводимости, акцепторные - около потолка валентной зоны. В обоих случаях энергия ионизации примесей Епр<<Ез, а коэффициент примесного поглощения на несколько порядков меньше, чем собственного, и не превышает _ф=10³ см^-1. Спектр примесного поглощения смещен относительно спектра собственного поглощения в инфракрасную область. Электроны в атомах примесей могут находиться в основном и возбужденном состояниях, и тогда энергия ионизации атомов примесей различна. Поэтому спектр примесного поглощения состоит из нескольких областей (участки 3 и 4). Увеличение температуры способствует термической ионизации атомов примесей. Коэффициент примесного поглощения при этом уменьшается, так как энергия фотонов не поглощается из-за отсутствия неионизированных атомов примеси. Поэтому приемники инфракрасного диапазона, использующие в работе примесное поглощение, как правило, охлаждают до низких температур (77, 110 К).

При экситонном поглощении энергия фотона Еф<Ез. Электрон в валентной зоне полупроводника, поглотив энергию фотона, не отрывается от атома, а только переходит в возбужденное состояние, образуя с дыркой связанную кулоновскими силами пару – экситон. Экситон электрически нейтрален, а его энергетическое состояние соответствует уровню энергии в запрещенной зоне полупроводника. Влияние экситона на проводимость полупроводника косвенное. Столкновение экситона с фотоном или фононом может привести к потере им энергии, что эквивалентно возвращению электрона на энергетический уровень в валентной зоне или получению им энергии, и тогда электрон переходит в зону проводимости. В обоих случаях экситон распадается. Спектр экситонного поглощения состоит из узких линий в области _гр (не показанных на Рис.2), но при этом для каждой линии >_гр.

Полупроводники, кристаллическая решетка которых содержит атомы различного типа, можно рассматривать как систему электрических диполей. Диполи наиболее интенсивно поглощают энергию излучения на собственных частотах колебаний. Колебания диполей сложны, а поэтому спектр решеточного поглощения состоит из нескольких областей. На Рис.2 решеточному поглощению соответствует участок 5 далекой инфракрасной части оптического диапазона. Поглощение сопровождается генерацией большого числа фононов. Увеличивается тепловая энергия полупроводника, изменяются подвижность и энергия свободных носителей, повышается их концентрация.

Поглощение энергии свободными носителями связано с их переходами на уровни внутри зоны проводимисти. При этом спектр поглощения из-за малого энергетического зазора между уровнями зоны практически непрерывный (линия 6 на Рис.2) и смещен в длинноволновую область оптического диапазона. В сложных полупроводниках переходам носителей между долинами соответствуют пики в спектре поглощения.

---

Кроме упомянутых, в полупроводниках проявляются и другие механизмы поглощения. Но их вклад в фотопроводимость полупроводников мал. Таким образом, фоторезистивный эффект заключается в изменении электропроводности полупроводника под действием излучения. Темновая проводимость полупроводника при световом потоке Ф=0 и постоянной температуре определяется соотношением _o=q(n_o_n+p_o_p), где n_o, p_o - равновесные концентрации электронов и дырок; _n, _p - их подвижности. При поглощении излучения в полупроводнике генерируются избыточные носители. При постоянных значениях светового потока ФО, подвижности и времени жизни носителей в полупроводнике наступает полное динамиче­ское равновесие с концентрациями избыточных носителей n и p. Про­водимость полупроводника изменяется на величину:

_ф=q(_nn+_pp), (4)

называемую фотопроводимостью. Полная проводимость полупроводника =_o+_ф. Спектральная характеристика фотопроводимости _ф=() изображена на Рис.2 штриховой линией.

Концентрации неравновесных носителей, определяющих фотопроводимость, зависят от параметров полупроводника (ширины запрещенной зоны, типа проводимости, коэффициента преломления и др.) и механизма по­глощения.

При собственном поглощении, уменьшение длины волны излучения начиная с красной границы фотоэффекта (см. Рис.2) приводит к резкому увеличе­нию фотопроводимости, значение которой проходит через максимум, а затем падает. Причиной этого уменьшения фотопроводимости является изменение об­ласти генерации свободных носителей в полупроводнике. С укорочением длины волны область генерации носителей перемещается в быстро сужающийся поверхностный слой полупроводника, где поглощается основная часть энергии излучения (_ф возрастает). Из-за поверхностных явлений в полупроводнике увеличивается скорость рекомбинации неравновесных носителей и уменьша­ется время их жизни, поэтому поверхностный слой не может внести заметного вклада в общую проводимость толстого полупроводника. При собственном поглощении происходит генерация пар носителей, поэтому концентрации избыточных носителей равны, т.е. p=n. Фотопроводимость полупровод­ника при собственном поглощении называется биполярной (собственной). В широкозонных беспримесных полупроводниках концентрация избы­точных носителей превышает собственную, т.е. n>n_o, p>p_o, в узкозонных из-за термогенерации n<n_o, p<p_o.

В полупроводниках с примесным поглощением возрастает концен­трация носителей только одного знака - основных или неосновных, а фотопроводимость соответственно называется униполярной (примесной). Ей соответствуют участки 3 и 4 (штриховые линии) спектра поглощения на Рис.2.

Поглощение энергии свободными носителями не меняет их концентрацию, но увеличивает подвижность. Соответственно при этом механизме поглощения фотопроводимость называется  - фотопроводимостью. Свободные носители при нормальной температуре отдают поглощенную энергию решетке через 10^-10 - 10^-12 с - время жизни возбужденных носите­лей. Поэтому  - фотопроводимость наблюдается только при низких температурах (77, 110 К).

---

Эффективность поглощения оценивается квантовым выходом полупроводника _ф - отношением числа возникших в нем неравновесных избыточных носителей к числу поглощенных фотонов.

Для повышения фотопроводимости полупроводника (примесного или беспримесного) необходимо увеличивать коэффициент поглощения (только для тонкого полупроводника, где _фL<<1, а L толщина), квантовый выход, время жизни носителей и снижать коэффициент отражения.

Фотоэлектрические эффекты в электрическом переходе.

Рассмотрим идеализированный р-n переход, облучаемый монохроматическим световым потоком с энергией фотонов, превышающей ширину запрещенной зоны полупроводников. При собственном поглощении в пе­реходе и прилегающих к нему областях оптически генерируются избы­точные носители - электроны и дырки. Электрическое поле перехода пере­мещает дырки в р- область, электроны в n- область, разделяя тем самым генерируемые носители. Процессу разделения подвергаются носители, ге­нерируемые в обедненной области перехода и прилегающих к ней облас­тях размером, примерно равным диффузионной длине неосновных носите­лей. Только с расстояния, меньшего диффузионной длины, неосновной носитель в процессе движения успевает пересечь границу перехода за время жизни. Не­основные носители, генерируемые в р- и n- областях на большем расстоянии от границы перехода, вследствие рекомбинации не попадают в обедненную об­ласть, где сосредоточено электрическое поле перехода.

Через переход протекает дрейфовый фототок неравновесных неоснов­ных носителей. Неравновесные основные носители не могут преодолеть потенциальный барьер перехода и остаются в области генерации. В результате раз­деления оптически генерируемых носителей концентрации дырок в р- области и электронов в n- области повышаются, что приводит к компенсации объемного заряда неподвижных примесных ионов на границах перехода. Потенциальный барьер перехода, как и при прямом напряжении, уменьшается на величину фото ЭДС, называемую напряжением холостого хода Uхх при разомкнутой внешней цепи. Снижение потенциального барьера увеличивает ток диффузии основных носителей через переход. Он направлен навстречу фототоку. В ста­ционарном состоянии при Ф=const ток диффузии Iдф равен дрейфовому току, состоящему из фототока Iф и теплового тока Io перехода, т.е. выполняется условие динамического равновесия:

I=Iдф-Iф-Io=0 (5)

В идеализированном р-n переходе ток диффузии и тепловой ток свя­заны зависимостью Iдф=Ioexp(Uхх/_т). Тогда из условия (5) следует, что

Iф=Io(e^Uхх/т-1) (6)

Эту формулу для напряжения холостого хода можно записать в виде:

Uxx=_тln(1+Iф/Io) (7)

Напряжение холостого хода не может превышать контактной разности потенциалов р-n перехода _o. В противном случае из-за полной компенсации поля в переходе разделение оптически генерируемых носителей полем перехода прекращается. Для невырожденных полупроводников величина q_o меньше ширины запрещенной зоны полупроводников. Поэтому для напряже­ния холостого хода справедливо неравенство Uxx=_o<Eз/q.

---

Смотрите также файлы

• LEX2.doc

• LEX3.doc

• LEX4.doc

• LEX5.doc

• LEX6.doc