Файл: Образование преципитатов рFeSi2 в микрокристаллическом Si.docx

ВУЗ: Не указан

Категория: Не указан

Дисциплина: Не указана

Добавлен: 09.11.2023

Просмотров: 34

Скачиваний: 1

ВНИМАНИЕ! Если данный файл нарушает Ваши авторские права, то обязательно сообщите нам.
-FeSi2. В таких пленках наблюдалась фотолюминесценция на длине вол­ны X & 1.54 мкм при температуре 100 K. Была обна­ружена зависимость интенсивности фотолюминесценции от концентрации железа, что позволило связать на­блюдаемую фотолюминесценцию с преципитатами фазы в-FeSi2.

Работа выполнена при финансовой поддержке Про­граммы фундаментальных исследований „Низкоразмер­ные квантовые структуры“ (грант № 6.15, 4B19).

Авторы выражают благодарность В.М. Лебедеву за измерения резерфордовского обратного рассеяния.


Список литературы

  1. M.C. Bost, J.E. Mahan. J. Appl. Phys., 58, 2696 (1985).

  2. D. Leong, M. Harry, K.J. Reeson, K.P. Homewood. Nature, 387, 686 (1997).

  3. K. Lefki, P. Muret, N. Cherief, R.S. Cinti. J. Appl. Phys., 69, 352 (1991).

  4. B.O. Kolbesen, H. Cerva. Phys. St. Sol. (b), 222, 303 (2000).

  5. Р.И. Баталов, Р.М. Баязитов, Е.И. Теруков, В.Х. Кудоярова, G. Waiser, H. Kuehne. ФТП, 35 (11), 1320 (2001).

  6. R.I. Batalov, R.M. Bayazitov, I.B. Khaibullin, E.I. Terukov, V.Kh. Kudoyarova. Nanotechnology, 12, 409 (2001).

  7. B.L. Sharma. Diffusion in semiconductors.
Trans. Tech. Pub. Germany, 87 (1970).

  • K. Lefki, P. Muret, E. Bustarret, N. Boutarek, R. Madar, J. Chewier, J. Derrien, M. Brunel. Sol. St. Commun., 80, 791 (1991).

  • A.G. Birdwell, R. Glosser, D.N. Leong, K.P. Homewood. J. Appl. Phys., 89, 965 (2001).

  • JCPDS Powder Diffraction File. Publ. by Int. Centr for Diffraction Data (Swarthmore, USA, 1989).

  • Н.А. Дроздов, А.А. Патрин. Письма ЖЭТФ, 23, 800 (1976). [Zh. Eksper. Teor. Fiz., Pisma, 23, 651 (1976)].

    Редактор Т.А. Полянская

    Formation of в-FeSi2 precipitates in microcrystalline Si films

    E.I. Terukov, O.I. Kon’kov, V.Kh. Kudoyarova,

    O.B. Gusev, V.Yu. Davydov, G.N. Mosina

    Ioffe Physicotechnical Institute,

    Russian Academy of Sciences,

    194021 St.Petersburg, Russia

    Abstract The formation of в-FeSb precipitates in microcrys­talline silicon films has been observed for the first time. Amor­phous silicon films doped with Fe (a-Si(Fe}) have been prepared by magnetron sputtering. Subsequent short-time annealing (800°C, 30 min) results in the transformation of amorphous silicon doped with Fe into microcrystalline one and the production of в-FeS^ precipitates. It is shown that the synthesized sample is able to emit at X га 1.54 pm at 100 K.