Проводимость клапанов при вязкостном режиме течения для третьего диапазона равнялась проводимости клапанов для первого диапазона.Проводимость клапанов при молекулярном режиме течения была определена по формуле (6), только проводимость малой диафрагмы равнялась . Тогда:По формуле (9) получили проводимость двух клапанов (диафрагм) при переходном течении для третьего диапазона давлений.
Суммарная проводимость вычисляется по формуле (7)2) Было рассчитано время откачки камеры от атмосферного давления до давления 5 Па.Для этого необходимо было определить эффективную скорость откачки вакуумной камеры из основного уравнения вакуумной техники:
|
|
(12)
|
где
S0 – эффективная скорость откачки вакуумной камеры, м
3/с,
Sн – скорость откачки вакуумной камеры, м
3/с,Тогда:
|
|
(13)
|
Для каждого диапазона давлений нашли эффективную скорость откачки по формуле (11):
Время откачки разбили разделили по интервалам в соответствии с диапазонами давлений и нашли по формуле:
|
|
(14)
|
где
V – объем вакуумной камеры, м
3,
Pнач – давление в начале участка, Па,
Pк – давление в конце участка, Па.Тогда для каждого диапазона давлений:
Время откачки камеры до 5 Па:
|
(15)
|
3) Было рассчитано остаточное давление
Pост в камере и установившееся давление в указанных точках магистрали (
P1,
P2,
P3,
P4,
P5,
P6,) при суммарном потоке натекания в камеру
Qн = 1,44 Вт, при том условии, что поток газа по всей длине форвакуумной магистрали постоянен.Предельное остаточное давление, которое соответствовало давлению в 6 точке было вычислено как:
|
|
(16)
|
Полученное значение отнесли ко второму интервалу давлений в вакуумной камере, поэтому необходимо было использовать для определения давлений в остальных точках магистрали соответствующие проводимости её элементов. Для определения давлений в указанных точках использовалось выражение:
|
|
(17)
|
где
Pн. – давление в начале участка магистрали, Па,
Pк – давление в конце участка магистрали, Па.Тогда:
Остаточное давление было найдено по формуле:
|
|
(18)
|
Таким образом,
P1 =
Pост = 17 Па.
