Файл: Лабораторная работа 4 исследование мдпструктуры Проверилa Каравашкина В. Н. Москва 2023 г. Цель работы.docx
ВУЗ: Не указан
Категория: Не указан
Дисциплина: Не указана
Добавлен: 12.01.2024
Просмотров: 103
Скачиваний: 7
ВНИМАНИЕ! Если данный файл нарушает Ваши авторские права, то обязательно сообщите нам.
Министерство цифрового развития, связи и массовых
коммуникаций Российской Федерации
ордена Трудового Красного Знамени федеральное государственное
бюджетное образовательное учреждение высшего образования
“Московский технический университет связи и информатики”
Кафедра электроники
Лабораторная работа №4
«ИССЛЕДОВАНИЕ МДП-СТРУКТУРЫ»
Выполнил:
Проверилa:
Каравашкина В.Н.
Москва
2023 г.
Цель работы:
Изучение особенностей структуры металл – диэлектрик – полупроводник (МДП) и возможностей её применения в электронике.
Обозначения и расчётный формулы:
Ход лабораторной работы:
Вариант №3:
Толщина диэлектрика, мкм | Концентрация акцепторной примеси N, см-3 | Ширина канала W, мкм | Длина канала L, мкм |
0,03 | 1016 | 0,4 | 1,25 |
Таблица с расчетами:
Исходные данные | Измененный параметр | Пороговое напряжение, В | Удельная крутизна, А/В2 | Удельная емкость, Ф/мкм2 | Емкость затвор-канал, Ф |
Из табл. 1 | - | 0,9924 | 2,0248 *10-5 | 1,1505 *10-16 | 5,7525 *10-17 |
При самостоятельно изменённом параметре с целью уменьшения порогового напряжения | N=1015см-3 | 0,7241 | 2,0248 *10-5 | 1,1505 *10-16 | 5,7525 *10-17 |
При самостоятельно изменённом параметре с целью увеличения удельной крутизны | W=0,8 мкм | 0,9924 | 4,0497 *10-5 | 1,1505 *10-16 | 5,7525 *10-17 |
При самостоятельно изменённом параметре с целью уменьшения ёмкости затвор-канал | L = 1 мкм | 0,9924 | 2,5311 *10-5 | 1,1505 *10-16 | 4,602 *10-17 |
Вывод: Уменьшение концентрации акцепторной примеси N или уменьшение толщины диэлектрика d приводит к уменьшению порогового напряжения U0. Увеличение ширины канала W или уменьшение длины канала L или уменьшение толщины диэлектрика d приводит к увеличению удельной крутизны В и емкости затвор-канал Сзк. Однако, при уменьшении ширины канала W или уменьшении длины канала L также происходит уменьшение ёмкости затвор-канал Сзк.