Файл: Лабораторная работа 4 исследование мдпструктуры Проверилa Каравашкина В. Н. Москва 2023 г. Цель работы.docx

ВУЗ: Не указан

Категория: Не указан

Дисциплина: Не указана

Добавлен: 12.01.2024

Просмотров: 103

Скачиваний: 7

ВНИМАНИЕ! Если данный файл нарушает Ваши авторские права, то обязательно сообщите нам.

Министерство цифрового развития, связи и массовых
коммуникаций Российской Федерации
ордена Трудового Красного Знамени федеральное государственное
бюджетное образовательное учреждение высшего образования

“Московский технический университет связи и информатики”

Кафедра электроники

Лабораторная работа №4

«ИССЛЕДОВАНИЕ МДП-СТРУКТУРЫ»

Выполнил:

Проверилa:

Каравашкина В.Н.

Москва
2023 г.

Цель работы:

Изучение особенностей структуры металл – диэлектрик – полупроводник (МДП) и возможностей её применения в электронике.

Обозначения и расчётный формулы:














Ход лабораторной работы:

Вариант №3:

Толщина диэлектрика, мкм

Концентрация акцепторной примеси N, см-3

Ширина канала W, мкм

Длина канала L, мкм

0,03

1016

0,4

1,25


Таблица с расчетами:

Исходные данные

Измененный параметр

Пороговое напряжение, В

Удельная крутизна, А/В2


Удельная емкость, Ф/мкм2

Емкость затвор-канал, Ф

Из табл. 1

-

0,9924

2,0248

*10-5

1,1505

*10-16

5,7525

*10-17

При самостоятельно изменённом параметре с целью уменьшения порогового напряжения

N=1015см-3

0,7241

2,0248

*10-5

1,1505

*10-16

5,7525

*10-17

При самостоятельно изменённом параметре с целью увеличения удельной крутизны

W=0,8 мкм

0,9924

4,0497

*10-5

1,1505

*10-16

5,7525

*10-17

При самостоятельно изменённом параметре с целью уменьшения ёмкости затвор-канал


L = 1 мкм

0,9924

2,5311

*10-5

1,1505

*10-16

4,602

*10-17

Вывод: Уменьшение концентрации акцепторной примеси N или уменьшение толщины диэлектрика d приводит к уменьшению порогового напряжения U0. Увеличение ширины канала W или уменьшение длины канала L или уменьшение толщины диэлектрика d приводит к увеличению удельной крутизны В и емкости затвор-канал Сзк. Однако, при уменьшении ширины канала W или уменьшении длины канала L также происходит уменьшение ёмкости затвор-канал Сзк.