Файл: 1. Описание физических эффектов (явлений), лежащих в основе измерительного преобразования.docx

ВУЗ: Не указан

Категория: Не указан

Дисциплина: Не указана

Добавлен: 05.12.2023

Просмотров: 75

Скачиваний: 2

ВНИМАНИЕ! Если данный файл нарушает Ваши авторские права, то обязательно сообщите нам.
(k,1α): (0,00016 < 6,573 < 6,635), то гипотеза о нормальном законе распределении результатов измерений растровым электронным микроскопом строки нанообъекта не противоречит теоретическому нормальному закону распределения с вероятностью Р=0,99.

СПИСОК ЛИТЕРАТУРЫ

  1. Чжоу, У. Сканирующая микроскопия для нанотехнологий / У. Чжоу, З. Л. Ван. –Нью–Йорк : Спрингер, 2007. - 522 с. – http://dx.doi.org/10.1007/978-0-387-39620-0.

  2. ГОСТ Р 8.631-2007. ГСИ. Микроскопы электронные растровые. Методика поверки. https://docs.cntd.ru/document/1200050773 (дата обращения: 14.05.2022 г).

  3. С. Г. Конников Количественная растровая электронная микроскопия материалов и структур твердотельной электроники // Научное приборостроение, 2000, том 10, No 1, c. 3–13

  4. ГОСТ ISO/TS 80004-6-2017 Нанотехнологии. Часть 6 Характеристики нанообъектов и методы их определения. Термины и определения https://docs.cntd.ru/document/1200141447

  5. Анцыферов С.С., Афанасьев М.С., Русанов К.Е. Обработка результатов измерений: Учебное пособие. М: Издательство ИКАР, 2014 г.228 с.

  6. Быков Ю.А., Карпухин С.Д. Растровая электронная микроскопия и рентгеноспектральный микроанализ. Аппаратура, принцип работы, применение: учеб. пособие по курсу "Современные методы исследования структуры материала" / Под ред. Ю.А. Быкова. – М.: Изд-во МГТУ им. Н.Э. Баумана, 2010, с.44

  7. Теоретические основы растровой электронной микроскопии и энергодисперсионного анализа наноматериалов : учеб. пособие /[Д. А. Полонянкин и др.] ; Минобрнауки России, ОмГТУ. – Омск : Изд-во ОмГТУ, 2019. – 116 с. : ил.

  8. А.Ляпин, к.г.-м.н. Визуализация тонких структур –современные технологии Часть 2 https://www.electronics.ru/files/article_pdf/4/article_4721_695.pdf (дата обращения 14 мая 2022 г.)

http://www.rusnanonet.ru/articles/34482 (дата обращения 14 мая 2022 г.)

(http://www.smalltimes.com)

  1. Есида, А. Сканирующая электронная микроскопия / А. Есида, Ю. Кабураги, Ю. Хисияма // Материаловедение и технология углерода: характеристика. –2016. – Ч. 5. – С. 71-93. – http://dx.doi.org/10.1016/B978-0-12-805256-3.00005-2 . Yoshida, A. Scanning electron microscopy / A. Yoshida, Y. Kaburagi, Y. Hishiyama // Materials science and engineering of carbon: Characterization. –2016. – Ch. 5. – P. 71–93. – http://dx.doi.org/10.1016/B978-0-12-805256-3.00005-2.

  2. Сканирующая электронная микроскопия / Л. Реймер. – Берлин : Springer Heidelberg, 1998. – 528 с. – http://dx.doi.org/10.1007/978-3-540-38967-5 . Scanning Electron Microscopy / L. Reimer. – Berlin : Springer Heidelberg, 1998. – 528 p. – http://dx.doi.org/10.1007/978-3-540-38967-5.

  3. Симидзу К. Новые горизонты прикладной сканирующей электронной микроскопии. Серия Спрингера в области наук о поверхности / К. Симидзу, Т. Митани. – Берлин : Springer Heidelberg,2010. – 179 с. – http://dx.doi.org/10.1007/978-3-642-03160-1 Shimizu, K. New Horizons of Applied Scanning Electron Microscopy. Springer Series in Surface Sciences / K. Shimizu, T. Mitani. – Berlin : Springer Heidelberg, 2010. – 179 p. – http://dx.doi.org/10.1007/978-3-642-03160-1

  4. Фогт Т. Моделирование наноразмерных изображений в электронной микроскопии. Наноструктура Наука и техника / Т. Фогт, В. Дамен, П. Бинев. – Бостон : Springer US, 2012. – 182 с. – http://dx.doi.org/10.1007/978-1-4614-2191-7 . Vogt, T. Modeling Nanoscale Imaging in Electron Microscopy. Nanostructure Science and Technology / T. Vogt, W. Dahmen, P. Binev. – Boston : Springer US, 2012. – 182 p. – http://dx.doi.org/10.1007/978-1-4614-2191-7

  5. Шварц, А. Дж. Дифракция обратного рассеяния электронов в материаловедении /А. Дж. Шварц, М. Кумар, Б. Л. Адамс, Д. П. Филд. – Бостон : Springer US, 2009. –403 с. – https://doi.org/10.1007/978-0-387-88136-2 . Schwartz, A. J. Electron Backscatter Diffraction in Materials Science /A. J. Schwartz, M. Kumar, B. L. Adams, D. P. Field. – Boston : Springer US, 2009. –403 p. – https://doi.org/10.1007/978-0-387-88136-2.

  6. Справочник по анализу поверхности и границ раздела / М. Кигучи. – Сингапур :Springer Nature, 2018. – 853 с. – http://dx.doi.org/10.1007/978-981-10-6156-1 . Compendium of Surface and Interface Analysis / M. Kiguchi. – Singapore :Springer Nature, 2018. – 853 p. – http://dx.doi.org/10.1007/978-981-10-6156-1.

  7. Характеристика микроструктур методом аналитической электронной микроскопии (AEM) / Ю. Ронг. – Берлин : Springer Heidelberg, 2012. – 552 с. –http://dx.doi.org/10.1007/978-3-642-20119-6 . Characterization of Microstructures by Analytical Electron Microscopy (AEM) / Y. Rong. – Berlin : Springer Heidelberg, 2012. – 552 p. –http://dx.doi.org/10.1007/978-3-642-20119-6.

  8. С. Г. Конников Количественная растровая электронная микроскопия материалов и структур твердотельной электроники // Научное приборостроение, 2000, том 10, No 1, c. 3–13





ПРИЛОЖЕНИЕ 1



ПРИЛОЖЕНИЕ 2