ВУЗ: Не указан
Категория: Не указан
Дисциплина: Не указана
Добавлен: 30.11.2023
Просмотров: 44
Скачиваний: 2
ВНИМАНИЕ! Если данный файл нарушает Ваши авторские права, то обязательно сообщите нам.
Рис.56. Пластинчато-роторный насос.
Сухие спиральные насосы
Данное оборудование относится к категории объемных агрегатов. Спиральный насос (рис.57) предназначен для сжатия воздушных масс (теплых или холодных) за счет уменьшения их объема.Спиральные насосы серий обеспечивают безмасляную откачкублагодаря особой конструкции с использованиемсильфонного ввода движения, герметично отделяющего привод с подшипникамиот вакуумной рабочей камеры, что полностью исключает проникновениесмазочных материалов в откачиваемый вакуумный объем. Отличается высокими показателями шума и энергопотребления, при этом считаются довольно эффективными.
Рис.57.Спиральный насос
Сухие диафрагменные насосы
Объёмный насос, рабочий орган которого — гибкая пластина (диафрагма, мембрана), закреплённая по краям; пластина изгибается под действием рычажного механизма (механический привод).Диафрагменные насосы (рис.58) специально разработаны для лабораторногоприменения. Они имеют небольшие габариты, а также низкий уровень шума иэнергопотребления. Механизмы насосов изготавливаются из коррозионностойких материалов, что позволяет работать с химически активными веществами. Однако не стоит забывать, что в отличии от спиральных насосов не рассчитаны на большие объемы, в отличии от спиральных насосов.
Рис.58. Диафрагменный насос.
Откачные посты
Высоковакуумные откачные посты (рис.59) – это установленные на единой платформефорвакуумный насос, высоковакуумный турбомолекулярный насос иуправляющий контроллер, который также имеет возможность подключениявакуумных преобразователей и при необходимости осуществляет связь с компьютером.
В зависимости от поставленных задач и индивидуальных требований может бытьвыбрана универсальная серия постов или сборка из нескольких – все зависит от объема поставленных задач. Высоковакуумные откачные посты являются основными вакуумными системами на современных автоматизированных производствах.
Рис.59. Высоковакуумныйоткачной пост.
Турбомолекулярные насосы
Турбомолекулярные и гибридные молекулярные насосы (рис.60) позволяют получать высокий и сверхвысокий вакуум. Данный тип насосов сочетает в себе невысокую стоимость, высокую надежность иремонтопригодность (замена опорного подшипника занимает десять минут и нетребует последующей балансировки ротора). Насосы обычно имеютинтегрированный управляющий модуль, а также могут подключаться кдополнительному измерительному контроллеру TIC.
Не стоит забывать о турбомолекулярных насосах с магнитным подвесом ротора, потому что это оптимальный выбордля задач, где требуются длительная непрерывная эксплуатация, полное отсутствиеуглеводородов, минимальное обслуживание и малая вибрация. Насосы выпускаютсяв различных исполнениях: как для создания сверхвысокого вакуума, так и дляоткачки больших газовых потоков, в том числе агрессивных сред.
Рис.60. Турбомолекулярные и гибридные молекулярные насосы
Крионасосы
Крионасосы (рис.61) являются лучшим решением для получения абсолютно безмасляноговакуума и высокой быстроты откачки: в имитаторах космического пространства,полупроводниковой промышленности, фундаментальных исследованиях. Всовременныхкрионасосах для достижения криотемператур используютсякриорефрижераторы, работающие на газообразном гелии, что позволяетполностью отказаться от жидкого азота, водорода и гелия. Специальныемодификации крионасосов позволяют производить селективную откачкуразличных газов, например, ксенона. Из всех рассмотренных ранее насосов являются самыми дорогими и перспективными разработками, однако по производительности им нет конкурентов.
Рис.61.Крионасос
Заключение
В данном учебном пособии максимально подробно были рассмотрены способы создания вакуума, а так же часть оборудования, которая требуется для работы вакуумных установок. На основании открытых источников было рассмотрено применение вакуума в промышленном производстве, также отдельные аспекты технологии вакуумного производства. Отдельно было сказано про перспективные разработки и технологии, которые получили широкое распространение. В приложениях и таблицах к данному пособию можно найти технические характеристики новейших установок и их узлов.
Вакуумные технологии, несмотря на довольно долгую историю применения в науке и промышленности, еще долго останутся востребованными в области радиоэлектроники.
БИБЛИОГРАФИЧЕСКИЙ СПИСОК
1. Биргер И.А. Техническая диагностика, М.: Машиностроение.1978.-240с.
2. Давыдов Г.С. Техническая диагностика, М.: Радио и связь. 1988.-256с.
3. Байда Н.П., Неслора В.Н., Роик А.М., Самообучающие анализаторы производственных дефектов РЭА.М.: Радио и связь, 1991. – 256с.
4. Испытания радиоэлектронной, электронно-вычислительной аппаратуры, испытательное оборудование. Учеб пособие для вузов. Под ред. А. И . Коробова,-М.: Радио и связь,1987.-272 с.:ил.
5. Никитин Л.Н. Виртуальные методы испытаний: лабораторный практикум : учеб.пособие / Л.Н.Никитин, И.А.Лозовой. Воронеж: ФГБОУВПО «Воронежский государственный технический университет»,2011. 93 с.