Файл: Сканирующая зондовая микроскопия диссертация.pdf

Добавлен: 06.02.2019

Просмотров: 15909

Скачиваний: 9

ВНИМАНИЕ! Если данный файл нарушает Ваши авторские права, то обязательно сообщите нам.
background image

51 

превышает 0.01–1 аФ [120, 128], что значительно меньше величины «геометрической» 

емкости в этой конфигурации. Столь же низкие значения емкости были определены пу-

тем анализа импульсного отклика зазора на малых временах с использованием субпи-

косекундного  лазера [251]. Экспериментальные  оценки,  полученные  из  анализа  изме-

нения  эффективной  высоты  туннельного  барьера  при  адсорбции [208], и  квантово-

химические расчеты [252–254] емкости для отдельных молекул также приводят к столь 

же  низким  значениям.  Характер  зависимости  емкости  от  расстояния,  по  данным  раз-

личных исследователей, колеблется от классической обратной пропорциональности до 

экспоненциальной зависимости. Все это слабо согласуется как с представленными вы-

ше данными, так и с результатами измерения в конфигурации сканирующего емкостно-

го микроскопа (scanning capacitance microscopy, SCM) и микроскопии электростатиче-

ских сил (electrostatic force microscopy, EFM). Некоторые исследователи [255, 256] вы-

сказывали предположение о том, что в условиях туннельного переноса электрона мож-

но выделить, наряду с классической «геометрической» емкостью  C=dQ/dU, также ем-

кость  (названную  авторами  «электрохимической»),  связанную  с  изменением  химиче-

ского потенциала электрона C=e dQ/d

μ. На наноуровне эти два типа величин емкости 

могут не совпадать, и «электрохимическая» емкость, определяющая, в частности, пове-

дение частиц в условиях кулоновской блокады, может быть значительно меньше «гео-

метрической».  Прямые  измерения  емкости  туннельного  зазора  не  позволили  обнару-

жить неклассическое поведение измеряемой емкости. Так, исследования [257], выпол-

ненные в ex situ конфигурации для поверхности золота, покрытого слоем октандитиола, 

показали  симбатное  увеличение  емкости  и  проводимости  зазора.  Лишь  в [245] были 

обнаружены  признаки  снижения  емкости  с  ростом  проводимости  туннельного  зазора 

(уменьшения расстояния зонд/образец), однако этот эффект мог быть связан и с аппа-

ратурными погрешностями.  

Попытки  картирования  изменения  емкости  зазора  вдоль  поверхности  одновре-

менно  с  топографическими  измерениями  с  использованием  синхронного  усилителя 

[247] показали для металлических и углеродных материалов перепад емкости в различ-

ных точках кадра, не превышающий 60 аФ. Это согласуется с локальной топографиче-

ской картиной. Теоретические оценки, выполненные в [247], показали, что при диамет-

ре  зонда 150 нм  разрешение  метода  при  картировании  вдоль  поверхности  составляет 

около 50 нм.  Попытки  изучения  данным  методом  гетерогенного  материала  (золото-

полимерной  композиции)  были  сделаны  в [258]. При  картировании  (одновременно  с 

топографическими  измерениями)  синфазной  и  сдвинутой  на 90

о

  переменных  состав-

ляющих туннельного тока на картах наблюдалась инверсия контраста: области с более 


background image

52 

высокой  проводимостью  имели  меньшую  локальную  емкость  (рис. 26). Авторы [258] 

отмечали,  что  емкостная  карта  характеризуется,  как  правило,  более  высоким  контра-

стом (большим перепадом значений), чем карта локальной проводимости. Нужно отме-

тить, что это единственная работа, в которой проведено картирование с использовани-

ем цифровой обработки сигнала (без использования внешнего синхронного детектора), 

с  малой  амплитудой  переменного  сигнала.  В  ней  впервые  показана  информативность 

этого подхода для характеристики гетерогенного композиционного материала. В [258] 

при картировании не проводилось вычитания аппаратного сдвига фаз, возникающего в 

электронных схемах микроскопа (не была проведена точная калибровка), поэтому, как 

отмечали сами авторы, возможно частичное перераспределение интенсивности сигнала 

между картами. Тем не менее, такое перераспределение не может объяснить столь су-

щественных различий в контрастности карт емкости и проводимости. 

 

Рис. 26. Топографическое изображение (а) и карта амплитуды синфазной (б) и сдвину-

той на 90

о

 (в) составляющих туннельного тока, полученные на образце золото-

полимерного композиционного материала. Размер кадра 187 нм. Амплитуда возбуж-

дения 20 мВ [258]. 

1.1.3.5. Поверхностный потенциал 

Метод  измерения  изменений  поверхностного  потенциала,  ставший  стандартным 

для  атомно-силовой  микроскопии (electrostatic force microscopy, Kelvin probe micros-

copy) может быть реализован и в конфигурации СТМ. Нужно отметить, что СТМ кон-

фигурация обеспечивает измерение поверхностного потенциала в условиях протекания 

тока,  что  не  может  быть  реализовано  в  условиях  АСМ.  Очевидно,  что  при  синусои-

дальных  вертикальных  колебаниях  зонда  наблюдается  и  синусоидальное  колебание 

туннельного тока [259–263]. Кроме того, в системе появляется составляющая тока (та-

кая же, как и при колебании кантеливера в конфигурации АСМ), отвечающая переза-

рядке емкости в туннельном зазоре. Эти две составляющие тока могут быть разделены 

с помощью синхронного усилителя, так как туннельный ток изменяется синфазно с ко-

лебанием зонда, а ток перезарядки — сдвинут по фазе на 90

о

. Ток перезарядки может 

быть записан как [263] 

а 

б 

в 


background image

53 

1

d

(

)

d

D

tun

surf

C

I

H U

U

H

= ω

, (39) 

где  H

1

 — амплитуда  колебаний  зонда, 

2

ω= πν  — циклическая  частота  колебаний, 

U

surf

 — поверхностный потенциал. Для модели плоского конденсатора 

2

0

d / d

1/

C

H

H

а для модели сферы и плоскости (r > H

0

0

0

d / d

2

/

C

H

r H

≈− πεε

, где H

0

 — среднее рас-

стояние между зондом и образцом [263]. Близкое выражение было получено и в [259]. 

Даже при нулевом внешнем напряжении между электродами из разных материалов су-

ществует поверхностная разность потенциалов, которая может быть получена из анали-

за  зависимости  I

D

  от  туннельного  напряжения.  Анализ  зависимости  I

D

  от  расстояния 

позволяет  также  оценить  величину  радиуса  кончика  зонда  и  абсолютного  расстояния 

между  электродами.  В  случае  полупроводниковых  материалов  значительный  вклад  в 

емкость туннельного зазора вносит формирующаяся в приповерхностном слое область 

обеднения вблизи зонда (рис. 27), что позволяет, в частности, определять тип носителей 

заряда  и  их  концентрацию  в  полупроводнике  с  высоким  разрешением [261]. Следует 

отметить,  что  корректное  определение  фазовых  характеристик  сигнала  (из-за  низких 

резонансных  частот  пьезодвигателя)  представляет  собой  достаточно  серьезную  про-

блему. В [262] был предложен алгоритм численного разделения вкладов туннельного и 

емкостного токов в общий измеряемый ток, и было показано хорошее согласие между 

экспериментальными данными и модельными оценками. В [263] был предложен более 

простой способ «калибровки» аппаратного сдвига фаз по максимальной интенсивности 

емкостного тока на большом удалении от поверхности и туннельного тока вблизи по-

верхности. Тем не менее, широкого распространения данный метод не получил. 

а

 б

 

Рис. 27. Модельные зависимости туннельного тока и тока смещения I

D

 (а) [262]. Рас-

считанные зависимости тока смещения I

D

 от туннельного напряжения для полупро-

водникового материала  с различной концентрацией носителей (б) [261]. Пунктирная 

линия отвечает теоретической зависимости для металлического электрода. 

Положительный знак напряжения отвечает положительному потенциалу зонда.  


background image

54 

1.1.3.6. Субатомарное разрешение (tapping mode) 

В [205] было показано, что увеличение амплитуды колебания зонда при картиро-

вании  величины  dI/dH  приводит  к  значительному  улучшению  разрешения  и  чувстви-

тельности  метода  за  счет  кратковременного  сильного  электронного  перекрывания  в 

момент  наибольшего  сближения  электродов.  Логическим  продолжением  работ  в  этом 

направлении стала реализация топографического метода, аналогичного, по сути, полу-

контактному режиму АСМ (tapping mode). С целью значительного улучшения локаль-

ности в [30, 264–266] было предложено использовать вертикальные колебания зонда с 

амплитудой 0,5-1,0 нм и средний ток в качестве разностного сигнала для петли обрат-

ной связи. Как и в случае полуконтактного режима АСМ, основной вклад в разностный 

сигнал вносит ток, протекающий в момент максимального сближения, а малая продол-

жительность токового импульса позволяет избежать повреждения электродов. При ис-

пользовании  зондов,  изготовленных  из  переходных  металлов  с  разным  электронным 

строением, было продемонстрировано субатомарное разрешение метода (рис. 28). Близ-

кие  результаты  были  получены  ранее  и  в  конфигурации  атомно-силового  микроскопа 

[267, 268]. Этим же методом может с высокой точностью картироваться кажущаяся вы-

сота туннельного барьера (локальная работа выхода) с атомарным разрешением [265]. 

 

Рис. 28. СТМ изображение сверхвысокого разрешения поверхности Si(111)-(7x7), 

полученное в динамическом режиме с использованием зонда, изготовленного из 

Co

6

Fe

3

Sm (а). Схематическое изображение орбиталей Si sp

3

 и Sm 4f

z3

 (наклонена на 

угол ~37

о

), отвечающих за протекание тока (б). Экспериментальное (в) и расчетное (г) 

изображения отдельного атома [30].  

б 

а 

в 

г 


background image

55 

Нужно  отметить,  что  близкая  идеология  используется  также  для  изучения  чел-

ночного  переноса  электрона [269], например,  в  условиях  кулоновской  блокады,  когда 

на вольтамперных зависимостях наблюдаются области NDR [270, 271].  

1.2. Особенности туннельной спектроскопии  

в электрохимической in situ конфигурации 

Переход от СТМ-измерений в условиях высокого вакуума к измерениям на возду-

хе и в растворах был закономерен как с точки зрения упрощения и удешевления обору-

дования, так и с точки зрения расширения круга исследуемых объектов. Первые изме-

рения в водных растворах были проведены в 1986 г. [272, 273], и уже тогда было про-

демонстрирована возможность получения атомарного разрешения на HOPG в растворе. 

Метод нашел широкое применение для исследования разнообразных явлений на меж-

фазной границе твердое тело/жидкоть, таких как адсорбция, поверхностная диффузия, 

процессы  образования  новой  фазы,  коррозия,  окислительно-восстановительные  про-

цессы отдельных молекул и др. [274–280]. Тем не менее, до сих пор востребованной в 

таких исследованиях является исключительно топографическая информация, тогда как 

спектроскопические  подходы  практически  не  применяются.  О  закономерностях  тун-

нельного  переноса,  в  том  числе  о  наличии  резонансного  туннелирования (OMT), как 

правило  судят  по  зависимости  контраста  на  СТМ-изображениях  от  потенциала  элек-

трода (рис. 29) [281]. Измерения туннельных спектров в растворе требуют использова-

ния  специализированных  быстродействующих  бипотенциостатов,  которые  способны 

обеспечить необходимый профиль модулирующего напряжения с учетом значительных 

токов,  связанных  с  перезаряжением  поверхности [282, 283]. Необходимые  для  интер-

претации экспериментальных спектроскопических данных физические модели, учиты-

вающие  наличие  молекул  воды  в  туннельном  зазоре,  существенно  более  сложны  по 

сравнению с моделями туннелирования в вакууме [284–289]. И они еще более услож-

няются  при  появлении  в  зазоре  слоя  адсорбированных  молекул [289–297]. Среди  мо-

дельных  гипотез,  использующихся  для  описания  процессов  туннелирования  через  ад-

сорбированную молекулу, можно выделить две большие группы: 1) одностадийное ре-

зонансное  туннелирование  через  дискретный  уровень  молекулы [294, 298] и 2) двух-

стадийное туннелирование в ходе которого происходит полная или частичная колеба-

тельная релаксация молекулы после переноса электрона [290]. В большинстве случаев 

однозначный выбор между этими подходами невозможен. Как правило, в in situ конфи-

гурации измеряются только локальные вольтамперные и токвысотные спектры, а более 

сложные спектроскопические подходы пока не нашли своего применения.