Файл: Сканирующая зондовая микроскопия диссертация.pdf

Добавлен: 06.02.2019

Просмотров: 15950

Скачиваний: 9

ВНИМАНИЕ! Если данный файл нарушает Ваши авторские права, то обязательно сообщите нам.
background image

141 

В  рамках  упрощенного  рассмотрения,  аналогичного [605] (перенос  электрона 

только по кратчайшему расстоянию зонд — образец), СТМ-отклик от сферической час-

тицы  на  плоскости  представляет  собой  часть  окружности  радиуса 

real

0.5

'

d

r r

+ + .  В 

общем случае: 

2

2

exp

exp

real

exp

0.25

0.5

'

2

h

d

d

r r

h

+

+ + =

, (61) 

где 

'

 — расстояние зонд/образец. Как указывалось выше, величину  '

 можно оценить 

из высоты  вольтвысотных зависимостей. Однако в общем случае разделить величины 

d

real

 и r невозможно. Независимая оценка радиуса кривизны зонда возможна для част-

ных случаев, когда из экспериментальных данных известен точный размер частицы. В 

часности, для плотной упаковки сферических частиц (d

exp

 = d

real

): 

2

exp

exp

exp

(

0.5

)

'

2

h

d

r r

h

+ =

, (62) 

для отдельной сферической частицы на плоскости (h

exp

 = d

exp

): 

2

exp

exp

'

8

d

r r

h

+ =

, (63) 

Анализ  сечений  СТМ-изображений  для  иммобилизованного  коллоида  по  урав-

нению (61) дает  интервал  расстояний  (

real

0.5

'

d

r r

+ + ) 2,5–4,5 нм.  Учитывая,  что  '

 

для  образцов  платины  и  золота,  согласно  вольтвысотным  зависимостям,  составляет 

около 1–2 нм, радиусы иммобилизованных частиц коллоида и зонда не могут превы-

шать 1–3 нм. Эта оценка, разумеется, является достаточно грубой, тем не менее, вели-

чина радиуса кончика  значительно меньше величин,  типичных  для зондов, получен-

ных  электрохимическим  травлением (10–50 нм).  Столь  малый  радиус  может  объяс-

няться  попаданием  на  кончик  зонда  одиночной  коллоидной  частицы  (или  конгломе-

рата частиц) с поверхности образца при подводе или сканировании. В этом случае ра-

бочий  радиус  кривизны  определяется  формой  коллоидной  частицы  и  действительно 

может составлять 1–2 нм. 

Представленный  выше  анализ  однозначно  показывает,  что  любые  количествен-

ные  оценки  параметров  нанодисперсного  материала  требуют  очень  большой  аккурат-

ности,  особенно  при  проведении  измерений  в  ex situ  условиях.  К  сожалению,  лишь  в 

редких случаях экспериментаторы уделяют внимание этому обстоятельству. С другой 

стороны, очевидно, что иммобилизованные на поверхности коллоидные частицы с уз-

ким  размерным  распределением  представляют  собой  хорошую  тест-систему,  пригод-


background image

142 

ную  для  оценки  формы  острия  зонда  (и  методов  подготовки  острий).  Наилучшие  ре-

зультаты  могут  быть  получены  при  иммобилизации  частиц  на  атомарно  гладких  по-

верхностях.  Один  из  примеров  такой  тест  системы  будет  представлен  в  следующем 

разделе. 

2.4. Анализ различных методик электрохимического травления зонда.  

Тест-система для оценки формы острия. 

Подготовка высококачественных зондов для туннельной микроскопии до сих пор 

является искусством [618], и работы в этом направлении не прекращаются. В этом не-

большом сегменте работы была сделана попытка проанализировать возможность заме-

ны  дорогостоящих  платино-иридиевых  зондов  более  дешевыми  вольфрамовыми,  про-

анализировать  различные  методы  подготовки  острий  с  использованием  тест-системы 

на основе коллоидных частиц, иммобилизованных на атомарно гладкой поверхности. 

Проблема подготовки заостренных электродов с малым радиусом кривизны  ост-

рия возникла задолго до изобретения сканирующей туннельной микроскопии в связи с 

измерениями в конфигурации полевого ионного и эмиссионного микроскопа [619–621]. 

Однако интерес к этой проблеме существенно возрос на волне широкого распростране-

ния СТМ и АСМ. Все существующие техники заточки создавались для получения зон-

дов,  эксплуатирующихся  в  высоковакуумной  конфигурации,  когда  имеется  возмож-

ность дополнительной очистки поверхности острия различными методами. При работе 

в  ex situ  конфигурации  такая  возможность  отсутствует,  и  фактор  загрязнения  острия 

при травлении может стать определяющим при выборе методики травления. К сожале-

нию, подробный анализ и сопоставление преимуществ и недостатков различных мето-

дик подготовки зондов (в первую очередь, как раз для ex situ конфигурации) в литера-

туре  отсутствует.  Поэтому  перед  рассмотрением  экспериментальных  результатов  по 

сопоставлению различных методик, будет рациональным посвятить несколько страниц 

обзору доступной литературы, посвященной описаниям различных электрохимических 

методов подготовки зондов. 

В  литературе  представлено  огромное  количество  методов  заточи  зондов [618], 

многие  из  которых  включают  ионную  бомбардировку  или  окислительную  термообра-

ботку  в  высоком  вакууме [622–629], что  позволяет  получать  острия  с  радиусами  кри-

визны 2–5 нм.  Сверхострые  зонды  могут  быть  получены  путем  выращивания  или  за-

крепления на кончике острия наноструктуры [630]. К сожалению, такого типа подходы 

с трудом переносятся на рутинные исследования, и основным методом подготовки зон-

дов остается их электрохимическое травление. В случае вольфрама травление выполня-


background image

143 

ется, как правило, в 1–3М растворе щелочи (гидроксида натрия или калия). Можно вы-

делить два кардинально отличающихся режима травления вольфрама: травление на по-

стоянном и переменном токе. 

Заточка  на  постоянном  токе  основана  на  процессе  анодной  электрополировки 

(медленного растворения) вольфрама в щелочном растворе при наложении небольшого 

напряжения (обычно 2–10 В) (рис. 106) [631–643]. Травление, фактически протекает в 

области «предельного тока», поэтому качество зондов не слишком чувствительно к на-

пряжению.  Гладкая  боковая  поверхность  зонда  (качественная  электрополировка)  дос-

тигается  при  напряжениях  более 4 В.  Процесс  растворения  протекает  с  несколько 

большей скоростью вблизи мениска, и на проволоке возникает утоньшение, которое на 

определенном этапе разрывается, формируя (формально) два острия. Контакт раствора 

с проволокой в момент отрыва не прерывается, поэтому дальнейшее пропускание тока 

приводит  к  растворению  острия  (росту  радиуса  кривизны).  Для  достижения  лучшего 

качества рабочего острия предлагалось использовать падающий на дно фрагмент про-

волоки [631], или  пружину,  механически  выдергивающую  зонд  из  раствора  в  момент 

отрыва [634]. Однако в большинстве случаев применяются электронные схемы, преры-

вающие поляризацию в момент отрыва [632, 635, 638–641]. В основу большинства схе-

мотехнических  решений  положен  подход,  предложенный  в [635] (с  использованием 

электронного  компаратора).  Исследования [635, 638] показали,  что  быстродействие 

системы отсечки существенно влияет на качество получаемых зондов. Наилучшее ка-

чество  (радиус  кривизны  около 10 нм)  достигается  при  задержке  не  более 50 нс.  По-

путно  отметим,  что  базовое  схемотехническое  решение [635, 638] не  учитывает  элек-

трохимической  специфики  протекающих  процессов:  в  момент  отрыва  оба  электрода 

подключаются  к  одному  полюсу  источника  питания.  С  точки  зрения  электротехники 

это отвечает отсутствию тока в цепи. Однако в электрохимической системе, состоящей 

из электродов разной природы (в качестве второго электрода, как правило, использует-

ся графит, никель или нержавеющая сталь), подобное включение приводит к возникно-

вению в цепи тока разряда соответствующего гальванического элемента. Величина это-

го  тока  мала,  однако  даже  она  может  приводить  к  подтравливанию  зонда,  если  он  не 

будет немедленно извлечен из раствора. В большинстве случаев достигаемый этим ме-

тодом радиус острия зонда составляет 20–50 нм, выход высококачественных зондов не 

превышает 50%. Наименьший  радиус (5 нм)  был  достигнут  при  использовании  отры-

вающейся части проволоки [603]. Получающееся острие достаточно короткое, с малым 

углом  расхождения  (рис. 106в),  что  обеспечивает  высококачественную  визуализацию 

рельефа с большими глубокими впадинами. 


background image

144 

а

 

б

 

 в

 

Рис. 106. Схематическое изображение принципа постояннотокового травления вольф-

рамовой проволоки (а) [635], зависимость тока растворения от межэлектродного на-

пряжения для растворов КОН различной концентрации (б) [642] и типичная форма 

острия после травления (в) [637]. 

При травлении в переменнотоковом режиме [644–647] форма кончика определя-

ется динамикой пузырьков газа (водорода и кислорода), выделяющихся на поверхности 

электрода при приложении переменного напряжения 15–40 В (рис. 107). Поэтому угол 

расхождения кончика существенно больше, а процесс травления очень чувствителен к 

величине  напряжения  и  условиям  проведения  электролиза  (при  низких  напряжениях 

получаются зонды с тупым округлым острием, при высоком — с очень длинным и не-

прочным острием). Прекращение травления обеспечивается отрывом мениска раствора 

от  поверхности  острия,  поэтому  не  требуются  специальные  электронные  системы  от-

ключения  поляризации.  Достигаемые  радиусы  кривизны  составляют  также 20–50 нм. 

Инверсия геометрии травления, согласно [647], позволяет получать ультраострые зон-

ды  с  радиусом 1–3 нм.  Более  гладкий  конусообразный  профиль  боковой  поверхности 

зонда (по сравнению с получаемым на постоянном токе) значительно облегчает нане-

сение изоляционных материалов на поверхность зонда для его последующего исполь-

зования в in situ конфигурации. Поэтому зонды для in situ микроскопии обычно изго-

тавливают именно переменнотоковым травлением. Для благородных металлов (плати-

на-иридия,  золота,  серебра)  переменнотоковое  травление  является  единственным  дос-

тупным методом получения высококачественных зондов [616, 648, 649].  


background image

145 

 а

 

 б

 

 в

 

Рис. 107. Схематическое изображение принципа переменнотокового травления вольф-

рамовой проволоки в нормальной (а) и инвертированной (б) конфигурациях. Типич-

ная форма зонда после травления (в) [647]. 

Для  увеличения  локальности  травления  (в  обоих  режимах)  часто  рекомендуется 

проводить процесс в тонкой пленке раствора, удерживаемой на круглом противоэлек-

троде [650–653], либо в тонком слое раствора на поверхности инертного органического 

растворителя [654, 655] (рис. 108). Использование этих подходов не позволяет сущест-

венно снизить радиус кривизны зонда, однако увеличивает выход высококачественных 

зондов с необходимыми размерами. Для улучшения качества зондов также рекомендо-

вано  использовать  отожженную  в  вакууме  вольфрамовую  проволоку  (монокристалли-

ческую), обеспечивающую лучшее качество острия, чем поликристаллическая [656]. 

 а

 

 б

 

Рис. 108. Схема травления зондов в тонкой пленке раствора (а) [651] и с использовани-

ем двух несмешивающихся жидкостей (б) [654]. E — электролит, I —  непроводящая 

жидкость (например, CCl

4

), S1 — часть проволоки, используемая в качестве зонда. 

Основным недостатком вольфрама является его высокая химическая активность, 

которая  значительно  ограничивает  диапазон  потенциалов  в  in situ  конфигурации,  при 

которых не происходит окисления кончика зонда. В ex situ условиях, при формирова-

нии на поверхности образца тонкой пленки воды действуют аналогичные ограничения. 

Кроме того, в ходе электрохимического травления на поверхности острия формируется 

слой нерастворимых оксидов вольфрама (преимущественно W(VI)) толщиной 3–10 нм 

[623, 636, 657, 658] (рис. 109), толщина которого возрастает при хранении зонда на воз-