Файл: Сканирующая зондовая микроскопия диссертация.pdf

Добавлен: 06.02.2019

Просмотров: 15955

Скачиваний: 9

ВНИМАНИЕ! Если данный файл нарушает Ваши авторские права, то обязательно сообщите нам.
background image

146 

духе [652]. Информация о строении острия вольфрамового зонда после травления дос-

таточно отрывочна (он может быть визуализирован только с использованием просвечи-

вающей электронной микроскопии). Оксидный слой наблюдается как при использова-

нии  постояннотоковых,  так  и  переменнотоковых  режимов  травления,  и  его  толщина 

очень чувствительна к условиям электролиза. В случае постояннотоковых режимов, как 

правило, толщина оксидного слоя составляет около 10 нм [636], переменнотоковых — 

несколько  меньше  (около 5 нм) [623]. Согласно [655], при  частотах  переменного  на-

пряжения менее 500 Гц возможно получение зондов без оксидного слоя. При травлении 

в тонкой пленке раствора толщина этого слоя также не велика (менее 5 нм) [652]. Во 

всех случаях, протяженность оксидного слоя значительно превышает толщину типич-

ного туннельного зазора. Механический контакт зонда с поверхностью (ток протекает 

по всей площади соприкосновения оксидного слоя с поверхностью) приводит к суще-

ственному  размыванию  топографических  изображений,  дестабилизации  петли  обрат-

ной  связи  (периодическим  втыканиям  и  осцилляциям),  необратимому  искажению  лю-

бых туннельно-спектроскопических измерений [636, 659]. При проведении измерений в 

вакууме всегда используются различных методы очистки (ионными пучками, термооб-

работкой, электрическим разрядом), поэтому эта проблема не столь актуальна. При из-

мерениях  на  воздухе  надежные  методы  очистки  поверхности  острия  отсутствуют. 

Предложен  метод  химической  обработки  в  концентрированной  плавиковой  кислоте 

(25–47%), позволяющий в большинстве случаев существенно снизить толщину оксид-

ного  слоя [658–661], однако  полностью  он  не  удаляется,  а  травление  одновременно 

приводит  к  увеличению  радиуса  кривизны  острия [660]. Механическая  отмывка  с  ис-

пользованием  ультразвука  очень  часто  приводит  к  деформации  (сгибанию)  острия 

[660]. Предложен также электрохимический метод краткосрочной полировки в раство-

ре  сульфита  калия  и  гидрохинона,  приводящий  к  существенному  снижению  толщины 

оксидов на поверхности [657, 662]. Выбор такого раствора был сделан исключительно 

эмпирически (проявитель для фотоматериалов) [662]. 

При  визуализации  «грубого»  рельефа  поверхности  с  размерами  характерных  об-

ластей,  значимо  превышающими  радиус  кривизны  зонда  (более 100 нм),  искажения, 

вносимые формой острия, нелокальностью переноса электрона в ex situ конфигурации, 

наличием оксида на поверхности не столь существенны и могут быть корректно оцене-

ны в рамках существующих моделей [605]. При визуализации с молекулярным или ато-

марным разрешением также не требуется малый радиус кривизны острия, так как при 

этом, фактически, туннельный ток протекает исключительно через верхушечный атом 

острия, и «переключения» проводимости на соседние атомы при сканировании не про-


background image

147 

исходит. В то же время, появление на поверхности острия даже очень тонкого оксидно-

го слоя делает невозможным получение высококачественных изображений такого мас-

штаба, поэтому чистота острия является в этом случае ключевым параметром. Наибо-

лее  проблемным  является  интервал  размеров 1–100 нм,  когда  размеры  визуализируе-

мых частиц сравнимы с размером острия. Именно в этот интервал, как правило, пред-

ставляющий наибольший интерес, попадает большинство электрокаталитических мате-

риалов и электролитических осадков  

 а

 

 б

 

Рис. 109. Результаты просвечивающей электронной микроскопии вольфрамовых 

зондов, полученных электрохимическим травлением в различных режимах. (а) — пе-

ременнотоковое травление с малой амплитудой [657], (б) — постояннотоковое травле-

ние [658]. 

С учетом всего вышесказанного, постановка экспериментальных работ была ори-

ентирована именно на наиболее проблемный интервал размеров. Реальная форма ост-

рия зонда всегда значительно сложнее, чем идеализированная модель полусферы. По-

этому, при обсуждении радиуса кривизны острия можно говорить лишь об эффектив-

ных  значениях,  описывающих  искажения,  возникающие  при  визуализации  объектов 

определенного размера. Фактически, (в первом приближении) это отвечает анализу ра-

диуса поперечного сечения зонда на удалении от его острия на определенное фиксиро-

ванное расстояние. Ниже все зонды, полученные различными методами, будут сопос-

тавляться на основе анализа искажений наблюдаемых при визуализации тест-системы, 

представляющей  собой  сферические  частицы  определенного  диаметра,  иммобилизо-

ванные на атомарно гладкой поверхности. Как было показано в предыдущем разделе, 

без учета делокализации переноса электрона в ex situ условиях, для такой конфигура-

ции  визуализируемая  высота  частиц  характеризует  их  реальный  размер,  а  увеличение 

их  латерального  размера — параметры  зонда.  Для  «полусферического»  приближения 

формы острия, его эффективный радиус может быть оценен с использованием уравне-

ния (63). Однако, так как уже для небольших использовавшихся размеров частиц, ана-


background image

148 

лиз поперечного сечения СТМ-изображений свидетельствует о существенном отклоне-

нии  острия  от  сферичности,  в  качестве  параметра  описывающего  наблюдаемые  иска-

жения ниже будет рассматриваться величина уширения СТМ-откликов на изображени-

ях (d

зонд

 = d

exp

 – h

exp

). В первом приближении, эта величина характеризует диаметр зон-

да на расстоянии 0,5h

exp

 от его острия. 

Для  сравнительной  оценки  различных  методов  травления  вольфрамовых  зондов 

была выбрана тест-система, представляющая собой коллоидные частицы золота с раз-

мерами около 15–20 нм (рис. 110), иммобилизованные на поверхности атомарно глад-

кой поверхности Au(111) (напыленная на слюду тонкая пленка золота с последующим 

отжигом).  Иммобилизация  производилась  путем  нанесения  на  поверхность  золота 25 

мкл  коллоидного  раствора  и  подкисления  его 25 мкл 0.5М  H

2

SO

4

.  После  выдержки  в 

течение 3–5 мин. раствор смывали дистиллированной водой и образец высушивали. В 

процессе  иммобилизации  на  поверхности  местами  формируются  большие  скопления 

частиц, однако основная часть поверхности заполнена отдельно расположенными час-

тицами.  При  нанесении  коллоида  на  поверхность HOPG формируется  аналогичная 

структура, однако энергия взаимодействия наночастиц с поверхностью графита не ве-

лика, поэтому при сканировании происходит смещение частиц и удаление их за преде-

лы  кадра.  Аналогичная  ситуация  реализуется  и  при  изучении  электроосажденных  на-

ночастиц на поверхности HOPG и будет подробно рассмотрена в главе 4. При исполь-

зовании золотой подложки признаков «сбивания» частиц при сканировании зафиксиро-

вано не было. 

 

Рис. 110. Изображение частиц цитратного коллоида Au, полученное методом про-

свечивающей электронной микроскопии. 


background image

149 

При  изготовлении  зондов  методом  скусывания  проволоки  ножницами  формиру-

ется кончик неправильной формы, с большим количеством выступов (рис. 111), однако 

в СТМ конфигурации при визуализации гладких поверхностей перенос электрона осу-

ществляется через какое-нибудь одно из сформированных острий, и достигается высо-

кое качество изображений. При исследовании поверхностей с существенными перепа-

дами высот становится возможным «переключение» между разными остриями и появ-

ляются  существенные  искажения.  Например,  для  ситуации  изображенной  на  рис. 111 

(предполагая, что образец горизонтален), можно ожидать «переключения» уже при пе-

репадах высот около 13 нм. Примеры таких искаженных изображений представлены на 

рис. 112. При скусывании формируется ассиметричный «плоский» кончик с достаточно 

низким  радиусом  кривизны  наиболее  выступающей  части  (при  высоте  визуализируе-

мой частицы 16–20 нм ее диаметр составляет около 40 нм, следовательно, радиус ост-

рия зонда — около 10 нм). Тем не менее, уже при перепадах высот 15–20 нм наблюда-

ются  существенные  искажения — топографическое  изображение  состоит  из  повто-

ряющихся  ассиметричных  образований.  Интересная  картина  искажений  наблюдается 

при налипании на поверхность зонда коллоидных частиц, появившихся при кратковре-

менном  контакте  острия  с  поверхностью  при  подводе  (либо  во  время  сканирования) 

(рис. 113). Свидетельством  искажений  является  идентичность  всех  визуализируемых 

объектов. 

 

Рис. 111. Острие платино-иридиевого зонда, изготовленное методом скусывания (про-

свечивающая электронная микроскопия) [657]. 

  

  

 

Рис. 112. СТМ изображения золотого коллоида на поверхности Au(111) полученные с 

использованием «скусанных» зондов. 


background image

150 

  

 

Рис. 113. СТМ изображения золотого коллоида на поверхности Au(111) полученные с 

использованием зонда, на поверхность которого налипли частички коллоида. 

Для травления вольфрамовых зондов была изготовлена специальная электронная 

схема, работающая совместно с платой ЦАП/АЦП Lcard L-780, позволяющая осущест-

влять регистрацию среднего и мгновенного тока в цепи в ходе процесса. Для отключе-

ния поляризации при отрыве кончика при постояннотоковом травлении использовалась 

модифицированная  схема [635] на  базе  компаратора,  однако  совмещенный  электрон-

ный ключ (управляемый компаратором) и реле (управляемое с компьютера) позволяли 

осуществляли полное размыкание цепи. Переменнотоковое травление выполнялось на 

частоте  питающей  сети (50 Гц).  В  качестве  противоэлектрода  во  всех  экспериментах 

использовался графитовый стержень. Объем раствора составлял около 50 мл, вольфра-

мовая проволока погружалась в него на глубину 1–2 мм. 

Продолжительность травления вольфрамовой проволоки диаметром 0.5 мм в 1М 

КОН в переменнотоковом режиме обычно составляет 1–2 мин. Типичный профиль тока 

в  ходе  травления  представлен  на  рис. 114. При  высоких  напряжениях  очень  часто  на 

заключительных этапах травления в области мениска происходит появление электриче-

ских разрядов (желтого свечения), при этом ток в цепи увеличивается. Существенного 

ухудшения  качества  зондов,  получаемых  при  возникновении  разрядов,  не  зафиксиро-

вано.  Мгновенный  ток  в  цепи  ассиметричен,  катодный  процесс  выделения  водорода, 

судя по всему, протекает в условиях предельного тока. Как хорошо видно по характеру 

искажений  при  визуализации  сферических  частиц  (рис. 115), при  использовании  для 

изготовления  зондов  технического  поликристаллического  вольфрама  (допированного 

редкоземельными элементами) формируются острия с плоским кончиком, вероятно из-

за  откалывания  материала  по  межзеренным  границам.  Профиль  поперечного  сечения 

кончика  при  этом  также  имеет  сложную  форму,  далекую  от  округлой.  Высококачест-

венные зонды удается получить только из высокочистого вольфрама (в работе исполь-

зовалась  проволока  фирмы Alfa-Aesar, с  чистотой 99.95%). На  рис. 116 представлены