Файл: Сканирующая зондовая микроскопия диссертация.pdf

Добавлен: 06.02.2019

Просмотров: 15991

Скачиваний: 9

ВНИМАНИЕ! Если данный файл нарушает Ваши авторские права, то обязательно сообщите нам.
background image

211 

К  сожалению,  использовавшееся  туннельно-микроскопическое  оборудование 

обеспечивает  сканирование  поля  размером  не  более 5.3х5.3  мкм,  что  существенно 

меньше  размера  зерен  исследовавшейся  керамики.  Это  не  позволяет  визуализировать 

на одном кадре несколько прилегающих друг к другу зерен с высокой проводимостью. 

Тем  не  менее,  взаимное  расположение  хорошо-  и  плохопроводящих  областей  на  рис. 

164 и 166 не оставляет сомнения в том, что области с 

n-типом проводимости представ-

ляют собой зерна диоксида олова. Неожиданным является большая толщина переход-

ных  плохопроводящих  областей,  разделяющих  зерна,  поэтому  эти  области  не  могут 

быть  отнесены  к  межзеренным  границам.  Их  толщина  обычно  значительно  меньше. 

Исследование керамики с помощью метода просвечивающей электронной микроскопии 

(А.М.Абакумов,  университет  Антверпена,  Бельгия)  показало,  что  толщина  межзерен-

ных границ для данного материала не превышает 6–10 нм и в этой области наблюдает-

ся выраженная сегрегация меди (рис. 169) 

 

Рис. 169. TEM изображение межзеренной границы керамики и карта распределения 

меди вдоль поверхности. Профиль интенсивности (на врезке) позволяет оценить 

толщину межзеренной границы около 6 нм. 

Допирование диоксида олова оксидом меди делает возможным жидкофазное спе-

кание [679], при этом в присутствии оксидов сурьмы можно ожидать образования твер-

дого раствора Sn

1-x

Cu

x/3

Sb

2x/3

O

2

 (устойчив до ~1200 

o

C при 

x=0.25) [695]. Несмотря на 

то,  что  спекание  образцов  керамики  производилось  при 1280-1300 

о

С,  нельзя  исклю-

чить, что при контакте жидкой фазы с зернами диоксида олова происходит их частич-

ное  допирование  медью  на  значительную  глубину,  в  результате  чего  между  зернами 

образуется фаза близкая по составу к твердому раствору Sn

1-x

Cu

x/3

Sb

2x/3

O

2

 с очень низ-

ким  значением 

x.  Очевидно,  что  проводимость  такой  фазы  должна  быть  значительно 

ниже, чем проводимость рутила SnO

2

, допированного сурьмой. Действительно, соглас-

но [707] удельное сопротивление при комнатной температуре фазы Sn

0.5

Cu

0.167

Sb

0.333

O

2

 

составляет около 2000 Ом/м (и ~0.7 Ом/м при 850 

о

С). Для диоксида олова, допирован-


background image

212 

ного 0.004-0.4 мас.% Sb эта величина составляет 0.01-0.0001 Ом/м при 900 

о

С и слабо 

меняется  с  температурой [677]. При  комнатной  температуре  удельное  сопротивление 

SnO

2

 допированного 0.4 мас. % Sb

2

O

3

 составляет всего 0,03 Ом/м [708].  

По  данным  рентгенофазового  анализа  в  керамике  обнаруживается  только  фаза 

диоксида олова, что, однако, не исключает возможности незначительного ее допирова-

ния, не приводящего к существенному изменению параметра элементарной ячейки. Та-

ким образом, различия в проводимости зерен и межзеренных участков в керамике оп-

ределяется  в  первую  очередь  локальным  различием  в  степени  допирования  диоксида 

олова  медью,  а  стабилизация  последней  в  решетке  обеспечивается  присутствием  из-

бытка сурьмы. На рис. 170 представлено схематическое изображение структуры кера-

мики, отвечающее высказанной выше гипотезе. 

1

2

3

4

4

3

2

2

1

1

2

2

1

1

 

Рис. 170. Схематическое представление строения исследуемой керамики: 1 — зерна с 

n-типом проводимости, диоксида олова, допированный сурьмой;  2- слой с низкой про-

водимостью диоксида олова допированного как сурьмой, так и медью; 3 — межзерен-

ная граница; 4 — тройной контакт, включения Cu

4

SbO

4.5

 и CuO. 

На основании данных  электронной микроскопии ранее был сделан вывод о том, 

что вводимая добавка оксида меди формирует при спекании исключительно включения 

в форме оксидов и Cu

4

SbO

4.5

. Представленная выше гипотеза строения керамики подра-

зумевает, что, по крайней мере, небольшая часть меди встраивается в решетку диокси-

да олова. Для проверки этой гипотезы фрагмент керамического анода был подвергнут 

длительному кипячению в разбавленной азотной кислоте для удаления включений со-

единений  меди  в  приповерхностном  слое.  Окрашивание  раствора  и  изменения  цвета 

керамики на бледно-серый подтвердило удаление включений на глубину в 1–2 мм. Тем 

не менее, результаты локального микроанализа подтвердили наличие в этом слое очень 

небольшого количества меди (не более 5% от ее первоначального количества). Если в 


background image

213 

объеме  фронта  вымывания  меди,  который  формируется  в  ходе  анодной  поляризации 

керамики в расплаве, присутствие меди в пределах чувствительности этого  метода не 

обнаруживается, после удаления меди кипячением в азотной кислоте она идентифици-

руется однозначно (на спектре присутствует четкий пик меди). После проведения элек-

трохимических испытаний такой керамики в тонком приповерхностном слое было об-

наружено  более  полное  вымывание  меди  (ее  присутствие  не  идентифицировалось  ис-

пользовавшимся методом), а на поперечном срезе керамики просматривалось два чет-

ких фронта вымывания (более протяженный, сформировавшийся после обработки в ки-

слоте, и узкий, — после электролиза) (рис. 171). Эти факты не противоречат предполо-

жению  о  том,  что  некоторое  количество  меди  находится  в  керамическом  материале  в 

прочносвязанном состоянии, а не в форме включений. 

 

Рис. 171. Внешний вид шлифа керамики после обработки кислотой и последующих ре-

сурсных электрохимических испытаний. 

Высокоплотная керамика (6.8 г/см

3

), демонстрирующая меньшую скорость внут-

ренней деградации в ходе кратковременных деградационных тестов, является не только 

менее пористой, но и значительно более однородной (рис. 172, 173). В данном материа-

ле отсутствуют участки с сильно отличающейся проводимостью. В составе материала 

не  удается  обнаружить  участков  с  высокой  проводимостью  n-типа.  Именно  поэтому 

для него не удается наблюдать выраженной ассиметрии ВАХ (формирования гетеропе-

рехода). Тем не менее, нелинейный характер ВАХ и незначительные различия в прово-

димости  на  разных участках  материала  при положительных  туннельных  напряжениях 

сохраняются. И поэтому скорость межзеренной деградации для этого материала лишь 


background image

214 

незначительно снижается. Сравнение ВАХ, полученных для средне- и высокоплотной 

керамики (рис. 165 и 173) показывает, что проводимость однородной керамики занима-

ет промежуточное положение между проводимостью зерна и плохопроводящего меж-

зеренного слоя для пористого материала. Таким образом, можно заключить, что на эта-

пе  спекания  высокоплотной  керамики  происходит  более  равномерное  распределение 

меди в зерне SnO

2

, а ее общее содержание в нем, вероятно, несколько меньше, по срав-

нению с составом плохопроводящей фазы обычной керамики. 

а

 

б

 

в

 

Рис. 172. Результаты сканирования в дифференциальном режиме высокоплотной ке-

рамики  (6.8 г/см

3

). a — топография поверхности, б — величина |dI/dU|, в — сдвиг фаз 

между током и напряжением. 

-1.0

-0.5

0.0

0.5

1.0

-16

-14

-12

-10

-8

-6

-4

-2

0

2

4

6

8

I

ту

н

, нА

U

тун

, В

 

Рис. 173. Локальные туннельные вольтамперные зависимости, измеренные в различ-

ных точках на поверхности образца высокоплотной керамики. 

Различия в концентрации и типе носителей заряда должны неизбежно привести к 

формированию на границе между хорошо и плохо проводящими фазами барьера Шотт-

ки,  препятствующего протеканию  электрического  тока.  Это  подтверждается и  резуль-

татами анализа нелинейного характера проводимости керамики, представленными вы-

ше. Для исходной керамики перенос тока в этом случае возможен только через связную 

сетку плохо проводящей фазы, находящейся между зернами (свойства этой фазы при-


background image

215 

близительно  одинаковы  в  различных  точках — барьеры  Шоттки  в  ней  отсутствуют). 

Поэтому для исходной керамики наблюдается омическая зависимость тока от напряже-

ния.  Это указывает,  в  частности,  на  то,  что  на  межзеренных  границах  (область 3 рис. 

170) существенных барьеров не формируется. После экспозиции в расплаве, на границе 

между областями 1 и 2 на рис. 170 происходит снижение высоты барьера Шоттки меж-

ду зернами SnO

2

 и плохо проводящей фазой (например, за счет незначительного изме-

нения кислородной стехиометрии, окисления или восстановления допантов и т.п.), что 

делает возможным перенос заряда сквозь хорошо проводящие зерна и приводит к появ-

лению  нелинейности  на  вольтамперных  кривых  на  фоне  снижения  общего  удельного 

сопротивления керамики. Действительно, как уже упоминалось выше, при экспозиции 

в расплаве среднеплотной керамики, происходит снижение ее удельного сопротивления 

(при комнатной температуре) от ~20 Ом/м до ~0.01 Ом/м. Последнее значение типично 

для керамик, допированных только оксидом сурьмы (0,03 Ом/м для SnO

2

 + 0.4 мас. % 

Sb

2

O

3

) [708]. В то же время, первое значение гораздо ближе к проводимости твердого 

раствора Sn

0.5

Cu

0.167

Sb

0.333

O

2

 (2000 Ом/м) [707]. Наблюдаемая лучшая проводимость ис-

ходной керамики однозначно связана с меньшей степенью замещения для фазы твердо-

го раствора, находящегося между зернами. Одним из вероятных механизмов этого про-

цесса  являются  редокс-превращения  с  участием  сурьмы.  Выше  уже  упоминалось,  что 

при допировании SnO

2

 сурьмой, в решетке рутила одновременно сосуществуют Sb(III) 

и Sb(V) [675–677]. Частичное восстановление сурьмы в решетке будет неизбежно при-

водить к снижению концентрации донорной и увеличению концентрации акцепторной 

примеси, а, следовательно, к уменьшению концентрации электронов в полупроводнике. 

В этом случае полупроводниковые свойства областей 1 и 2 на рис. 170 будут сближать-

ся, и высота барьера между ними будет уменьшаться.  

С другой стороны, в приповерхностных слоях керамики в окислительных услови-

ях  (выделение  кислорода  при  анодной  поляризации)  происходит  усиление  различий 

между фазами (например, за счет окисления сурьмы и увеличения концентрации элек-

тронов в зоне 1 рис 170), а межзеренные области приобретают близкий к p- тип прово-

димости, что приводит к появлению асимметрии на вольтамерных кривых (формирует-

ся гетеропереход). Высокая чувствительность сопротивления материалов на основе ди-

оксида олова к изменению атмосферы с восстановительной на окислительную и наобо-

рот общеизвестна и лежит в основе сенсорных применений таких керамик (см., напри-

мер, [709]).  

Общеизвестно,  что  при  протекании  анодного  электрохимического  процесса  на 

полупроводниковом электроде с 

n-типом проводимости (и катодного процесса на элек-